[发明专利]波前像差测定装置有效
| 申请号： | 201180017502.X | 申请日： | 2011-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN102844651A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 大泷达朗 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 周亚荣;安翔 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种波前像差测定装置，具有：设置在被测透镜的入射侧的照明光学系统、设置在上述被测透镜的射出侧的测量光学系统，上述照明光学系统具有自由开关的开口光圈，上述照明光学系统沿着照明光学系统的光轴自由移动，以将上述开口光圈和上述被测透镜的入射光瞳面调节到光学共轭关系的位置。由此，提供一种可抑制测定结果的误差的波前像差测定装置。 | ||
| 搜索关键词： | 波前像差 测定 装置 | ||
【主权项】：
一种波前像差测定装置，其特征在于，具有：设置在被测透镜的入射侧的照明光学系统、设置在上述被测透镜的射出侧的测量光学系统，上述照明光学系统具有自由开关的开口光圈，上述照明光学系统沿着照明光学系统的光轴自由移动，以将上述开口光圈和上述被测透镜的入射光瞳面调节到光学共轭关系的位置。
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