[发明专利]波前像差测定装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种波前像差测定装置，用于测定作为检查对象的透镜的波前像差。

背景技术

作为波前像差的测定方法，夏克－哈特曼型传感器为世人所知。例如，在鹤田匡夫著的「第4光の鉛筆」(新技術コミユニケ一シヨンズ、1997年、212頁)中，有作为波前测定传感器的代表例的解说。

测定由被测透镜产生的波前像差的波前像差测定装置的光学系统，一般使用：照明光学系统，使光波入射到被测透镜；测量光学系统，测定来自被测透镜的光束的波前像差。

在测量光学系统中，当解析通过被测透镜产生的波前像差时，需要知道投影的开口的形状。因此，投影被测透镜的开口光圈，进行其形状测定。此时，为求出开口的中心，会将开口光圈缩小到最小，进行投影的开口的形状和位置的测定。

发明内容

发明要解决的问题

但是，为使开口光圈缩小到最小而使被测透镜内的开口光圈动作时，通过开口光圈的驱动，被测透镜的重心移动、或产生透镜部分的变形等影响，投影的开口形状和位置的测定结果可能产生误差。其结果是，波前像差的测定结果可能产生误差。

本发明是鉴于这一情况而提出的，其目的在于提供一种可抑制测定结果误差的波前像差测定装置。

用于解决问题的手段

本发明的第一方式提供一种波前像差测定装置，其特征在于，具有：设置在被测透镜的入射侧的照明光学系统、设置在上述被测透镜的射出侧的测量光学系统，上述照明光学系统具有自由开关的开口光圈，上述照明光学系统沿着照明光学系统的光轴自由移动，以将上述开口光圈和上述被测透镜的入射光瞳面调节到光学共轭关系的位置。

本发明的第二方式提供一种波前像差测定装置，其特征在于，具有：设置在被测透镜的入射侧的照明光学系统、设置在上述被测透镜的射出侧的测量光学系统，上述照明光学系统具有自由开关的开口光圈，上述测量光学系统及上述被测透镜沿着被测透镜的光轴自由移动，以将上述开口光圈和上述被测透镜的入射光瞳面调节到光学共轭关系的位置。

本发明的第三方式提供一种透镜系统的制造方法，该透镜系统具有多个透镜部件，其特征在于，在透镜镜筒内配置上述多个透镜部件而组装上述透镜系统，通过本发明的第一方式的波前像差测定装置测定组装的上述透镜系统的波前像差，根据测定结果，判断上述透镜系统是否良好。

发明效果

根据本发明，可提供一种可抑制测定结果误差的波前像差测定装置。

附图说明

图1A、1B表示本发明的波前像差测定装置的一个实施方式，图1A表示调节为光学共轭关系前的状态，图1B表示调节为该光学共轭关系后的状态。

图2A、2B是表示图1A、1B的调节详情的图，图2A表示调节为光学共轭关系前的状态，图2B表示调节后的状态。

图3A、3B表示本发明的波前像差测定装置的其他实施方式，图3A表示调节为光学共轭关系前的状态，图3B表示调节为该光学共轭关系后的状态。

图4是图3A、3B的被测透镜3的放大图。

图5是用于说明本发明的透镜系统的制造方法的概要的流程图。

具体实施方式

接着根据表示本发明的实施方式的附图，进一步详细说明波前像差测定装置。此外，为便于说明，省略了机械、电气驱动部分的图示。并且，对起到相同作用的部分给予同样的附图标记，省略重复性说明。

图1A、1B表示波前像差测定装置1的一个实施方式。波前像差测定装置1由照明光学系统10和测量光学系统20构成。在照明光学系统10和测量光学系统20之间配置检查对象的被测透镜3，测定被测透镜3的波前像差。

上述照明光学系统10由通过光纤11引导的光源12、透镜13、滤波器14、开口光圈15、透镜16、光圈17、投影透镜18构成，在被测透镜3的入射侧直线状配置。上述照明光学系统10沿着光轴A自由移动。并且，上述投影透镜18沿着光轴A自由移动。上述开口光圈15相对光轴A垂直设置，自由开关。上述开口光圈15的开口可设定为任意的直径。