[发明专利]波前像差测定装置

权利要求书

1.一种波前像差测定装置，其特征在于，

具有：设置在被测透镜的入射侧的照明光学系统、设置在上述被测透镜的射出侧的测量光学系统，

上述照明光学系统具有自由开关的开口光圈，

上述照明光学系统沿着照明光学系统的光轴自由移动，以将上述开口光圈和上述被测透镜的入射光瞳面调节到光学共轭关系的位置。

2.根据权利要求1所述的波前像差测定装置，其特征在于，

上述照明光学系统具有投影透镜，

上述投影透镜和其他照明光学系统的构成部件沿着照明光学系统的光轴相对自由移动。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的波前像差测定装置，其特征在于，

上述测量光学系统沿着上述被测透镜的光轴自由移动。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的波前像差测定装置，其特征在于，

上述测量光学系统具有沿着上述被测透镜的光轴自由移动的波前传感器。

5.根据权利要求1或权利要求2所述的波前像差测定装置，其特征在于，

具有拍摄元件，其设置在相对上述开口光圈及上述被测透镜的入射光瞳面为光学共轭关系的位置处。

6.根据权利要求5所述的波前像差测定装置，其特征在于，

具有透镜阵列，其设置在相对上述开口光圈及上述被测透镜的入射光瞳面为光学共轭关系的位置处。

7.一种波前像差测定装置，其特征在于，

具有：设置在被测透镜的入射侧的照明光学系统、设置在上述被测透镜的射出侧的测量光学系统，

上述照明光学系统具有自由开关的开口光圈，

上述测量光学系统及上述被测透镜沿着被测透镜的光轴自由移动，以将上述开口光圈和上述被测透镜的入射光瞳面调节到光学共轭关系的位置。

8.根据权利要求7所述的波前像差测定装置，其特征在于，

上述测量光学系统具有沿着上述被测透镜的光轴自由移动的波前传感器。

9.一种波前像差测定装置，其特征在于，

具有：设置在被测透镜的入射侧的照明光学系统、设置在上述被测透镜的射出侧的测量光学系统，

上述照明光学系统具有自由开关的开口光圈，

上述测量光学系统具有波前传感器，其沿着被测透镜的光轴自由移动，以将上述开口光圈和上述被测透镜的入射光瞳面调节到光学共轭关系的位置。

10.根据权利要求9所述的波前像差测定装置，其特征在于，

上述测量光学系统沿着上述被测透镜的光轴自由移动。

11.根据权利要求1至2、权利要求7至10的任意一项所述的波前像差测定装置，其特征在于，

上述测量光学系统相对上述照明光学系统直线状配置。

12.根据权利要求1至2、权利要求7至10的任意一项所述的波前像差测定装置，其特征在于，

上述测量光学系统相对上述照明光学系统倾斜配置。

13.一种透镜系统的制造方法，该透镜系统具有多个透镜部件，其特征在于，

在透镜镜筒内配置上述多个透镜部件，组装上述透镜系统，

通过权利要求1所述的波前像差测定装置测定组装的上述透镜系统的波前像差，

根据测定结果，判断上述透镜系统是否良好。