[发明专利]过滤器箱、曝光装置、及元件制造方法无效
| 申请号： | 201180016872.1 | 申请日： | 2011-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN102821829A | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 桂公一;松浦惠二;堀田佳成;增川孝志 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 保持过滤器的过滤器箱，具备：保持过滤器的框架；以及设于框架的把手部；具有形状变化部，其设于框架的侧面的至少一部分，从框架的两个端面中一端面侧往另一端面侧且变化至该框架外侧。能将过滤器的设置以有效率且容易定位的方式进行。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤器 曝光 装置 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种过滤器箱，系保持过滤器，其特征在于，具备：保持前述过滤器的框架；以及设于前述框架的第1把手部；具有形状变化部，其设于前述框架的侧面的至少一部分，从前述框架的两个端面中一端面侧往另一端面侧且变化至前述框架外侧。
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