[发明专利]过滤器箱、曝光装置、及元件制造方法

权利要求书

1.一种过滤器箱，系保持过滤器，其特征在于，具备：

保持前述过滤器的框架；以及

设于前述框架的第1把手部；

具有形状变化部，其设于前述框架的侧面的至少一部分，从前述框架的两个端面中一端面侧往另一端面侧且变化至前述框架外侧。

2.如权利要求1所述的过滤器箱，其中，前述形状变化部具有第1倾斜部，该第1倾斜部形成于前述框架的侧面的至少一部分，从前述框架的前述两个端面中前述一端面侧往前述另一端面侧逐渐倾斜至前述框架外侧。

3.如权利要求2所述的过滤器箱，其中，前述框架形成为矩形且具备复数个侧面；

前述第1倾斜部，形成于前述复数个侧面中的第1侧面。

4.如权利要求3所述的过滤器箱，其具有第2倾斜部，该第2倾斜部设于前述框架的与前述第1侧面隔着前述过滤器为相反侧的第2侧面的至少一部分，从前述一端面侧往前述另一端面侧逐渐倾斜至前述框架外侧。

5.如权利要求4所述的过滤器箱，其中，前述第1倾斜部与前述第2倾斜部系对称地倾斜。

6.如权利要求4或5所述的过滤器箱，其中，前述第1倾斜部及前述第2倾斜部分别形成于前述第1侧面及前述第2侧面全面。

7.如权利要求4至6中任一权利要求所述的过滤器箱，其中，前述第1倾斜部的倾斜面及前述第2倾斜部的倾斜面形成为直线状或曲线状。

8.如权利要求3至7中任一权利要求所述的过滤器箱，其中，前述第1把手部设于前述框架的前述第1侧面。

9.如权利要求8所述的过滤器箱，其中，前述第1把手部设于前述框架的前述第1倾斜部。

10.如权利要求9所述的过滤器箱，其中，前述第1把手部系设于前述第1倾斜部的凸部。

11.如权利要求9所述的过滤器箱，其中，前述第1把手部系设于前述第1倾斜部的凹部。

12.如权利要求8至11中任一权利要所述的过滤器箱，其中，在前述第1侧面的第1把手部的位置，系沿与前述第1倾斜部的倾斜方向相异的方向为可变。

13.如权利要求8所述的过滤器箱，其中，前述第1倾斜部系在前述第1侧面分离成两个部分；

前述第1把手部配置于分离的前述第1倾斜部之间。

14.如权利要求4至7中任一权利要求所述的过滤器箱，其具有设于前述框架的前述第2侧面的第2把手部。

15.如权利要求14所述的过滤器箱，其中，前述第2把手部设于前述第2倾斜部。

16.如权利要求15所述的过滤器箱，其中，前述第2把手部系设于前述第2倾斜部的凸部。

17.如权利要求15所述的过滤器箱，其中，前述第2把手部系设于前述第2倾斜部的凹部。

18.如权利要求14至17中任一权利要求所述的过滤器箱，其中，在前述第2侧面的前述第2把手部的位置，系沿前述第2倾斜部的无倾斜的方向为可变。

19.如权利要求14所述的过滤器箱，其中，前述第2倾斜部系在前述第2侧面分离成两个部分；

前述第2把手部配置于分离的前述第2倾斜部之间。

20.如权利要求1至19中任一权利要求所述的过滤器箱，其中，前述过滤器系除去通过前述过滤器的气体中的有机物。

21.如权利要求1至20中任一权利要求所述的过滤器箱，其中，前述过滤器系除去通过前述过滤器的气体中的碱性物质及酸性物质的至少一方。

22.如权利要求1至21中任一权利要求所述的过滤器箱，其具有设于前述框架的两个端面中的另一端面的密封构件。

23.一种曝光装置，系以曝光用光经由图案使基板曝光，其特征在于，具备：

腔室，收纳使前述基板曝光的曝光本体部；

权利要求1至22中任一权利要求所述的至少一个过滤器箱；以及

空调装置，将从前述腔室的外部撷取的气体经由前述过滤器箱送至前述腔室内。

24.如权利要求23所述的曝光装置，其中，前述过滤器箱系沿前述气体的流路配置复数个。

25.一种元件制造方法，其特征在于，包含：

使用权利要求23或24所述的曝光装置使感光性基板曝光的动作；以及

处理前述曝光后感光性基板的动作。