[发明专利]感光性树脂组合物及受光装置无效

专利信息
申请号: 201180015652.7 申请日: 2011-03-18
公开(公告)号: CN102822745A 公开(公告)日: 2012-12-12
发明(设计)人: 白石史广;米山正洋;川田政和;高桥丰诚;出岛裕久 申请(专利权)人: 住友电木株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;H01L21/3205;H01L23/52;H01L27/14
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 苗堃;陈剑华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及一种感光性树脂组合物,其特征在于,包含碱可溶性树脂(A)、光聚合引发剂(B)和最大吸收波长在波长800nm以上2500nm以下范围内的红外线吸收剂(D),波长400nm以上700nm以下的可见光透过率的最大值在5.0%以上。此外,本发明还涉及一种感光性树脂组合物,其特征在于,包含碱可溶性树脂(A)、光生酸剂(C)和最大吸收波长在波长800nm以上2500nm以下范围内的红外线吸收剂(D),波长400nm以上700nm以下的可见光透过率的最大值在5.0%以上。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 装置
【主权项】:
感光性树脂组合物,其特征在于,含有碱可溶性树脂(A)、光聚合引发剂(B)和最大吸收波长在800nm以上、2500nm以下范围内的红外线吸收剂(D),波长400nm以上、700nm以下处的可见光透过率的最大值在5.0%以上。
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