[发明专利]感光性树脂组合物及受光装置无效

专利信息
申请号: 201180015652.7 申请日: 2011-03-18
公开(公告)号: CN102822745A 公开(公告)日: 2012-12-12
发明(设计)人: 白石史广;米山正洋;川田政和;高桥丰诚;出岛裕久 申请(专利权)人: 住友电木株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;H01L21/3205;H01L23/52;H01L27/14
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 苗堃;陈剑华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 装置
【权利要求书】:

1.感光性树脂组合物,其特征在于,含有碱可溶性树脂(A)、

光聚合引发剂(B)和

最大吸收波长在800nm以上、2500nm以下范围内的红外线吸收剂(D),

波长400nm以上、700nm以下处的可见光透过率的最大值在5.0%以上。

2.感光性树脂组合物,其特征在于,含有碱可溶性树脂(A)、

光生酸剂(C)和

最大吸收波长在800nm以上、2500nm以下范围内的红外线吸收剂(D),

波长400nm以上、700nm以下处的可见光透过率的最大值在5.0%以上。

3.根据权利要求1或2中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,波长360nm以上、400nm以下处的紫外线透过率的最小值在35%以下。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述感光性树脂组合物的固化物的波长在800nm以上、2500nm以下的红外线透过率的最小值在15%以下。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,红外线吸收剂(D)的热分解温度在200℃以上。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,红外线吸收剂(D)为金属硼化物、氧化钛、氧化锆、掺锡氧化铟、掺锑氧化锡、偶氮化合物、铵化合物、亚胺化合物、蒽醌化合物、菁化合物、二亚胺化合物、方酸菁化合物、酞菁化合物、萘酞菁化合物、蒽醌化合物、萘醌化合物、二巯基化合物、聚次甲基化合物中的一种以上。

7.根据权利要求1~6中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,含有0.01重量%以上、15重量%以下的红外线吸收剂(D)。

8.根据权利要求1~7中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,红外线吸收剂(D)的平均粒径在10μm以下。

9.根据权利要求1~8中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,还含有具有酚羟基和羧基的化合物(E)。

10.根据权利要求1~9中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,具有酚羟基和羧基的化合物(E)全部或部分为用下述通式(22)、(23)及(24)中的任一种所表示的化合物,

[化1]

[化2]

[化3]

(式中,a、b、e及f为1~3的整数,c及d为1~5的整数,R21、R22为芳香族以外的有机基团)。

11.根据权利要求1~10中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,具有酚羟基和羧基的化合物(E)的重均分子在100以上、5000以下。

12.根据权利要求1~11中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,还含有热固性树脂(F)。

13.根据权利要求12所述的感光性树脂组合物,其特征在于,热固性树脂(F)为环氧树脂。

14.根据权利要求13所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述环氧树脂的全部或一部分为苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、双环戊二烯型环氧树脂及三酚基甲烷型环氧树脂中的一种以上。

15.根据权利要求1~14中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,还含有光聚合性化合物(G)。

16.根据权利要求1~15中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,碱可溶性树脂(A)为具有光聚合性双键且具有碱可溶性基团的碱可溶性树脂。

17.根据权利要求1~16中任一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,碱可溶性树脂(A)为(甲基)丙烯酰基改性酚醛树脂。

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