[实用新型]一种曝光机及曝光系统有效
| 申请号： | 201120575159.8 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202372754U | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 王德帅;郭建;沈奇雨 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种曝光机及曝光系统，用以降低曝光工艺的实现成本。所述曝光机包括：曝光本体，该曝光机还包括位于所述曝光本体上的四个挡板、活动部件和控制部件；其中，所述各挡板通过活动部件与所述曝光本体相连；所述控制部件按照预设的移动参数，控制所述活动部件带动所述挡板移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 系统 | ||
【主权项】：
一种曝光机，包括：曝光本体，其特征在于，该曝光机还包括位于所述曝光本体上的四个挡板、活动部件和控制部件；其中，所述各挡板通过活动部件与所述曝光本体相连；所述控制部件按照预设的移动参数，控制所述活动部件带动所述挡板移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京京东方光电科技有限公司，未经北京京东方光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120575159.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：变频器功率柜
- 下一篇：一种防爆车辆用隔爆开关磁阻电机调速系统
