[实用新型]一种曝光机及曝光系统有效
| 申请号： | 201120575159.8 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202372754U | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 王德帅;郭建;沈奇雨 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 系统 | ||
1.一种曝光机，包括：曝光本体，其特征在于，该曝光机还包括位于所述曝光本体上的四个挡板、活动部件和控制部件；其中，
所述各挡板通过活动部件与所述曝光本体相连；
所述控制部件按照预设的移动参数，控制所述活动部件带动所述挡板移动。
2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述各挡板为水平面板且与待曝光基板平行设置。
3.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述各挡板的外周形状为矩形。
4.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述各挡板位于同一水平面；或者
至少有两个挡板位于不同水平面；或者
每个挡板位于不同水平面。
5.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述活动部件为脉冲马达；
所述控制部件按照预设的移动参数，控制所述脉冲马达带动所述挡板沿所述曝光本体上设置的导轨移动。
6.根据权利要求5所述的曝光机，其特征在于，所述曝光机的四个挡板上下左右对称设置；
所述控制部件按照预设的移动参数，控制与上下挡板相连接的脉冲马达，带动上下挡板沿所述曝光本体上设置的垂直方向的导轨移动，以及控制与左右挡板相连接的脉冲马达，带动左右挡板沿所述曝光本体上设置的水平方向导轨移动。
7.根据权利要求6所述的曝光机，其特征在于，所述控制部件为独立于所述曝光本体外的计算机；或者
所述控制部件为与所述曝光本体一体设置的中央控制单元。
8.一种曝光系统，其特征在于，包括权利要求1-7任一权项所述的曝光机和待曝光的基板，所述待曝光基板上的光刻胶为负性光刻胶或正性光刻胶。
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