[实用新型]清洗刷及清洗装置有效
| 申请号： | 201120571992.5 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN202398555U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 陈枫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;A46B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及清洗刷及清洗装置，所述清洗刷包括环形柱体和设置在所述环形柱体上的多个凸起，位于环形柱体中间区域的凸起的密度小于位于两端区域的凸起的密度。本实用新型的清洗刷及清洗装置，通过增大清洗刷及清洗装置中间区域的清洗液流量，以及增强清洗刷及清洗装置两端区域的清刷强度来提高清刷效果。 | ||
| 搜索关键词： | 洗刷 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种清洗刷，包括环形柱体和设置在所述环形柱体上的多个凸起，其特征在于，位于环形柱体中间区域的凸起的密度小于位于两端区域的凸起的密度。
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