[实用新型]清洗刷及清洗装置有效
申请号: | 201120571992.5 | 申请日: | 2011-12-30 |
公开(公告)号: | CN202398555U | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
发明(设计)人: | 陈枫 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | B08B1/02 | 分类号: | B08B1/02;A46B11/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 洗刷 清洗 装置 | ||
1.一种清洗刷,包括环形柱体和设置在所述环形柱体上的多个凸起,其特征在于,位于环形柱体中间区域的凸起的密度小于位于两端区域的凸起的密度。
2.如权利要求1所述的清洗刷,其特征在于,所述多个凸起沿环形柱体的轴线方向排列成多排,相邻两排之间的间距相等,每个凸起的大小均相同;并且,同一排中,位于所述环形柱体中间区域上的任意相邻两个凸起之间的间距大于位于两端区域上的任意相邻两个凸起之间的间距。
3.如权利要求1所述的清洗刷,其特征在于,所述多个凸起沿轴线方向排列成多排,相邻两排之间的间距相等,位于所述环形柱体中间区域上的凸起在轴线方向上的长度小于位于两个端部区域上的凸起在轴线方向上的长度。
4.如权利要求1或2所述的清洗刷,其特征在于,位于中间区域上的凸起在垂直于轴线方向上的长度小于位于两端区域上的凸起在垂直于轴线方向上的长度。
5.一种清洗装置,其特征在于,包括如权利要求1至4中任一权利要求所述的清洗刷、管芯和清洗液输送管,所述清洗刷包裹在所述管芯上,所述清洗液输送管穿过所述管芯,在所述管芯上设有多个孔,在所述清洗液输送管上设有多个排液口。
6.如权利要求5所述的清洗装置,其特征在于,所述多个孔均匀分布在所述管芯上,所述多个排液口均匀分布在所述清洗液输送管上。
7.如权利要求5所述的清洗装置,其特征在于,所述管芯呈圆柱体状,所述多个孔沿轴线方向排列成多排,任意相邻两排之间的间距相等;并且,同一排中,位于所述管芯中间区域上的任意相邻两个孔之间的间距小于位于两端部区域上的任意相邻两个孔之间的间距。
8.如权利要求5所述的清洗装置,其特征在于,所述管芯呈圆柱体状,所述多个孔沿轴线方向排列成多排,任意相邻两排之间的间距相等;并且,同一排中,位于所述管芯中间区域上的孔的孔径大于位于两端部区域上的孔的孔径。
9.如权利要求5所述的清洗装置,其特征在于,所述清洗液输送管的母线为弧线,所述清洗液输送管中间区域的内径比两端区域的内径小。
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