[实用新型]一种防潮湿污染的流量传感器组件及气体质量流量计有效
申请号: | 201120553177.6 | 申请日: | 2011-12-27 |
公开(公告)号: | CN202433045U | 公开(公告)日: | 2012-09-12 |
发明(设计)人: | 廖晓平;阮继亮;刘烨楠;邓文红;彭凯 | 申请(专利权)人: | 矽翔微机电系统(上海)有限公司成都分公司 |
主分类号: | G01F1/76 | 分类号: | G01F1/76 |
代理公司: | 成都赛恩斯知识产权代理事务所(普通合伙) 51212 | 代理人: | 张帆 |
地址: | 610041 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种流量传感器组件及气体质量流量计。针对现有技术中热式流量传感器组件存在易受潮湿污染而影响检测性能的缺陷,本实用新型提供了一种具有防治潮湿污染功能的流量传感器组件。本流量传感器组件包括流量传感元件与安装在流量传感元件上的控温加热组件,利用控温加热组件对流量传感元件加热,使其保持在工作条件温度范围内的某一恒定温度内,能够迅速气化凝结在流量传感元件表面的液态物质,保持流量传感元件表面的灵敏度。本实用新型还提供一种安装有该流量传感器组件的气体质量流量计。本流量传感器组件原理可靠,结构简单、小巧,加工方便,应用范围广,气体质量流量计检测状态好,适用性强。 | ||
搜索关键词: | 一种 潮湿 污染 流量传感器 组件 气体 质量 流量计 | ||
【主权项】:
一种防潮湿污染的流量传感器组件,包括流量传感元件(1),其特征在于:还包括安装在流量传感元件(1)上的控温加热组件(2)。
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