[实用新型]一种防潮湿污染的流量传感器组件及气体质量流量计有效
| 申请号： | 201120553177.6 | 申请日： | 2011-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN202433045U | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 廖晓平;阮继亮;刘烨楠;邓文红;彭凯 | 申请（专利权）人： | 矽翔微机电系统（上海）有限公司成都分公司 |
| 主分类号： | G01F1/76 | 分类号： | G01F1/76 |
| 代理公司： | 成都赛恩斯知识产权代理事务所(普通合伙) 51212 | 代理人： | 张帆 |
| 地址： | 610041 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 潮湿 污染 流量传感器 组件 气体 质量 流量计 | ||
1.一种防潮湿污染的流量传感器组件，包括流量传感元件（1），其特征在于：还包括安装在流量传感元件（1）上的控温加热组件（2）。
2.根据权利要求1所述的流量传感器组件，其特征在于：所述控温加热组件（2）包括加热片（21）与必要的加热电路。
3.根据权利要求2所述的流量传感器组件，其特征在于：所述加热片（21）一侧面固定连接流量传感元件（1）非敏感面，加热片（21）另一侧面连接加热电路。
4.根据权利要求3所述的流量传感器组件，其特征在于：所述加热电路是PCB电路板（22）及必要的电信号引脚（23）。
5.根据权利要求2～4任一所述的流量传感器组件，其特征在于：所述加热片（21）是MEMS加热芯片。
6.一种安装有权利要求1～4任一所述的防潮湿污染的流量传感器组件的气体质量流量计，包括气道（3），其特征在于：所述气道（3）开有检测口，所述流量传感元件（1）敏感面经检测口暴露在气道（3）中。
7.一种安装有权利要求5所述的防潮湿污染的流量传感器组件的气体质量流量计，包括气道（3），其特征在于：所述气道（3）开有检测口，所述流量传感元件（1）敏感面经检测口暴露在气道（3）中。
8.根据权利要求6所述的气体质量流量计，其特征在于：所述防潮湿污染的流量传感器组件的安装方式为如下二种方式之一：
一、控温加热组件（2）与流量传感元件（1）镶嵌在气道（3）上壁，流量传感元件（1）敏感面通过检测口暴露在气道（3）中；
二、控温加热组件（2）与流量传感元件（1）穿过检测口伸入气道（3）中。
9.根据权利要求7所述的气体质量流量计，其特征在于：所述防潮湿污染的流量传感器组件的安装方式为如下二种方式之一：
一、控温加热组件（2）与流量传感元件（1）镶嵌在气道（3）上壁，流量传感元件（1）敏感面通过检测口暴露在气道（3）中；
二、控温加热组件（2）与流量传感元件（1）穿过检测口伸入气道（3）中。
10.根据权利要求8或9所述的气体质量流量计，其特征在于：所述流量传感元件（1）敏感面与气道（3）轴向平行。
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