[实用新型]一种防潮湿污染的流量传感器组件及气体质量流量计

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种流量传感器组件及气体质量流量计及其使用，特别是涉及一种防潮湿污染的流量传感器组件，属于流量计量仪器领域。

背景技术

热式气体质量流量计是一种测量通过气体质量流量的热导式仪表，广泛应用于各个工业生产及科学实验的领域。气体质量流量计工作原理是采用热扩散原理(金式定律)，即流过热源的流体分子多少与热量散失的多少成正比，当气体流经仪表气道时，在气道上游加热、下游吸热，引起气道内温度场变异，进而导致反映温度变化的微电子机械系统(MEMS)将温度场变异引起的不平衡电压讯号放大或者转换成电流讯号并得以检测。

专利号为ZL200620034748.4，授权公告号为CN200975902，名称为“一种气体质量流量计”的中国实用新型专利公开了一种气体质量流量计。该流量计包括检测控制器、由MEMS传感器检测模块的一次仪表和由微处理器构成的二次仪表，二次仪表主要由微控制器模块、输出模块、电源模块、存储模块、信号处理模块和时钟模块构成。该质量流量是采用MEMS热式质量流量传感技术制造的气体质量流量计。这类检测仪器在含有水份物质的气体流量检测中使用时，水份物质将附着在MEMS流量传感元件表面会使MEMS流量传感元件的热场和温度传感器无法稳定可靠工作，由此导致仪器测量的流量误差很大甚至无流量信号输出。

实用新型内容

本实用新型的目的就是针对现有技术的不足，提供一种能够防止周围潮湿环境或者潮湿物质污染的气体质量流量计，其关键是提供一种具有防治潮湿污染功能的流量传感器组件。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种防潮湿污染的流量传感器组件，包括流量传感元件，其特征在于：还包括安装在流量传感元件上的控温加热组件。

上述防潮湿污染的流量传感器组件通过在流量传感元件上加装控温加热组件，利用控温加热组件对流量传感元件加热使其保持在工作条件温度范围内的某一恒定温度内。当环境中的水汽、水雾以及病患口中带出的如唾沫、痰星等含水分的液态物质凝结在流量传感元件表面时能够迅速气化，从而保持流量传感元件表面的灵敏度，保证流量测量的精度和可靠性。

在优化条件下，上述防潮湿污染的流量传感器组件中的控温加热组件采用电加热技术，包括加热片与必要的加热电路。特别是可以采用MEMS加热芯片，以保证产品结构小巧、性能精良。

以上述防潮湿污染的流量传感器组件为基础，本实用新型还提供一种气体质量流量计，该产品采用防潮湿污染的流量传感器组件，具体技术方案如下：

一种安装有上述防潮湿污染的流量传感器组件的气体质量流量计，包括气道，其特征在于：所述气道开有检测口，所述流量传感元件敏感面经检测口暴露在气道中，或者所述流量传感元件穿过检测口，流量传感元件敏感面暴露在气道中。

通常，流量传感元件敏感面与气道轴向平行。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：(1)流量传感器组件通过加装控温加热组件使流量传感元件能够防止潮湿污染，保证了传感元件的灵敏度与准确性；(2)流量传感器组件结构简单、小巧，加工方便，应用范围广；(3)产品造价经济，耗能量低；(4)安装了本流量传感器组件的气体质量流量计检测状态好，适用性强。

附图说明

图1是流量传感器组件基本结构示意简图。

图2是流量传感器组件结构示意图。

图3是实施例二气体质量流量计中流量传感器组件安装结构示意图。

图4是图3的A局部放大示意图。

图5是实施例三气体质量流量计中流量传感器组件安装结构示意图。

图6是图5的A-A剖面示意图。

图7是图6的B局部放大示意图。

图中标号如下：

1流量传感元件  2控温加热组件  21加热片  22PCB电路板

23电信号引脚   24灌封腔       3气道

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的优选实施例作进一步的描述。

实施例一

如图1、图2所示，制得一种防潮湿污染的流量传感器组件。

图1是流量传感器组件基本结构示意简图。防潮湿污染的流量传感器组件包括流量传感元件1，还包括安装在流量传感元件1上的控温加热组件2。