[实用新型]一种测量硅片几何尺寸的装置有效
| 申请号： | 201120498717.5 | 申请日： | 2011-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN202361917U | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 杨红;朱泓 | 申请（专利权）人： | 江苏宏宝光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/02 | 分类号： | G01B5/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215618 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种测量硅片几何尺寸的装置，包括钢板和泡沫垫；所述钢板的板面尺寸与泡沫垫的垫面尺寸大小相同；所述泡沫垫的垫面与钢板的板面紧密贴合，泡沫垫固定在钢板上；所述泡沫垫上设有用于放置硅片的凹槽；所述凹槽上面的四个角为倒角；所述凹槽边缘及其倒角处标有测量对应硅片边长范围和倒角长度范围的刻度。本实用新型所提供的测量硅片几何尺寸的装置具有以下优点：一方面该装置采用泡沫制成的泡沫垫，对硅片启到了保护作用；另一方面该装置只需一人操作就可方便快捷的测量出硅片几何尺寸是否在合格范围内，提供了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 硅片 几何 尺寸 装置 | ||
【主权项】：
一种测量硅片几何尺寸的装置，其特征在于：包括钢板(1)和泡沫垫(2)；所述钢板(1)的板面尺寸与泡沫垫(2)的垫面尺寸大小相同；所述泡沫垫(2)的垫面与钢板(1)的板面紧密贴合，使泡沫垫(2)固定在钢板(1)上；所述泡沫垫(2)上设有用于放置硅片的凹槽(3)；所述凹槽(3)上面的四个角为倒角(4)；所述凹槽(3)边缘及其倒角(4)处标有测量对应硅片边长范围和倒角(4)长度范围的刻度。
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