[实用新型]一种测量硅片几何尺寸的装置

权利要求书

1.一种测量硅片几何尺寸的装置，其特征在于：包括钢板(1)和泡沫垫(2)；所述钢板(1)的板面尺寸与泡沫垫(2)的垫面尺寸大小相同；所述泡沫垫(2)的垫面与钢板(1)的板面紧密贴合，使泡沫垫(2)固定在钢板(1)上；所述泡沫垫(2)上设有用于放置硅片的凹槽(3)；所述凹槽(3)上面的四个角为倒角(4)；所述凹槽(3)边缘及其倒角(4)处标有测量对应硅片边长范围和倒角(4)长度范围的刻度。

2.如权利要求1所述的测量硅片几何尺寸的装置，其特征在于：所述钢板(1)的尺寸为240*240*2mm；所述泡沫垫(2)的尺寸为240*240*8mm。

3.如权利要求1或2所述的测量硅片几何尺寸的装置，其特征在于：所述凹槽(3)的尺寸为158*158*0.1mm；所述凹槽(3)四个倒角(4)的长度为3mm。

4.如权利要求3所述的测量硅片几何尺寸的装置，其特征在于：所述凹槽(3)边缘的刻度线以端点0为起点，以1mm为间断线，0.2mm为间断点，边缘的刻度在0-158mm范围内。

5.如权利要求3所述的测量硅片几何尺寸的装置，其特征在于：所述倒角(4)刻度线以端点0为起点，以0.2mm为间断线，0.1mm为间断点，倒角(4)刻度在0-3mm范围内。