[实用新型]循环喷淋式多晶硅尾气喷淋塔有效

专利信息
申请号: 201120330420.8 申请日: 2011-09-05
公开(公告)号: CN202199247U 公开(公告)日: 2012-04-25
发明(设计)人: 赵振元;罗明树 申请(专利权)人: 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
主分类号: B01D53/18 分类号: B01D53/18;C01B33/107
代理公司: 成都中亚专利代理有限公司 51126 代理人: 陈亚石
地址: 610051 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种循环喷淋式多晶硅尾气喷淋塔,包括塔体,所述塔体顶部一侧设置有废气排气口,塔体底部设置有出液管,一喷淋管穿过塔体顶部置于喷淋腔内,其特征在于:所述出液管和喷淋管间通过一液泵连通。本实用新型采用液泵使含有四氯化硅的喷淋液在塔体内进行强制循环吸收,促进气液优质充分交换,使得在消耗喷淋液同等条件下,吸收效率却提高了50%以上。
搜索关键词: 循环 喷淋 多晶 尾气 喷淋塔
【主权项】:
一种循环喷淋式多晶硅尾气喷淋塔,包括塔体(1),所述塔体(1)顶部一侧设置有废气排气口(2),塔体(1)底部设置有出液管(3),一喷淋管(4)穿过塔体(1)顶部置于喷淋腔(5)内,其特征在于:所述出液管(3)和喷淋管(4)间通过一液泵(6)连通。
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