[实用新型]循环喷淋式多晶硅尾气喷淋塔

说明书

技术领域

本实用新型属于化工行业的多晶硅生产过程中配套设备，具体涉及一种多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅的循环喷淋式多晶硅尾气喷淋塔。

背景技术

在多晶硅生产过程中，还原炉排出的尾气，含有较高的四氯化硅，而四氯化硅是合成有机硅的主要原料，如果将多晶硅生产干法的尾气直接排掉，则是一种浪费，因此在化工行业中采用了尾气回收四氯化硅的方法，即鼓泡淋洗法，但这种方法往往使得喷淋液利用率低，也就是喷淋液未完全吸收四氯化硅的情况下就被排出喷淋塔，使得喷淋液消耗过多，四氯化硅回收率低，进而成本增大。

实用新型内容

鉴于上述不足之处，本发明的目的在于提供一种循环喷淋式多晶硅尾气喷淋塔，使其最大限度的利用喷淋液来回收四氯化硅。

为了达到上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：一种循环喷淋式多晶硅尾气喷淋塔，包括塔体，所述塔体顶部一侧设置有废气排气口，塔体底部设置有出液管，一喷淋管穿过塔体顶部置于喷淋腔内，其中，所述出液管和喷淋管间通过一液泵连通。

上述塔体底部还设有排液口。

上述出液管上还设有喷淋液进液口。

本实用新型的有益效果是：本实用新型采用液泵使含有四氯化硅的喷淋液在塔体内进行强制循环吸收，促进气液优质充分交换，使得在消耗喷淋液同等条件下，吸收效率却提高了50%以上。

附图说明

图1 本实用新型的结构示意图。

图中 1.塔体；2.废气排气口；3.出液管；4.喷淋管；5.喷淋腔；6.液泵；7.排液口；8.喷淋液进液口。

具体实施方式

下面我们将结合附图对本实用新型做进一步的说明。

如图1所示，一种循环喷淋式多晶硅尾气喷淋塔，包括塔体1，塔体1顶部一侧设置有废气排气口2，塔体1底部设置有出液管3，一喷淋管4穿过塔体1顶部置于喷淋腔5内，出液管3和喷淋管4间通过一液泵6连通，液泵6通过出液管3抽吸含有四氯化硅的喷淋液，再经喷淋管4喷进喷淋腔5继续吸收四氯化硅，使含有四氯化硅的喷淋液在塔体1内进行强制循环吸收促进气液优质充分交换；当喷淋液吸收四氯化硅达饱和后，可从设置于塔体1底部的排液口7排出另作他用，在喷淋液不足的情况下，可从出液管3上设置的喷淋液进液口8添加喷淋液。