[实用新型]循环喷淋式多晶硅尾气喷淋塔有效
| 申请号： | 201120330420.8 | 申请日： | 2011-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN202199247U | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 赵振元;罗明树 | 申请（专利权）人： | 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都中亚专利代理有限公司 51126 | 代理人： | 陈亚石 |
| 地址： | 610051 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 循环 喷淋 多晶 尾气 喷淋塔 | ||
【权利要求书】：
1.一种循环喷淋式多晶硅尾气喷淋塔，包括塔体（1），所述塔体（1）顶部一侧设置有废气排气口（2），塔体（1）底部设置有出液管（3），一喷淋管（4）穿过塔体（1）顶部置于喷淋腔（5）内，其特征在于：所述出液管（3）和喷淋管（4）间通过一液泵（6）连通。
2.根据权利要求1所述的循环喷淋式多晶硅尾气喷淋塔，其特征在于：所述塔体（1）底部还设有排液口（7）。
3.根据权利要求1所述的循环喷淋式多晶硅尾气喷淋塔，其特征在于：所述出液管（3）上还设有喷淋液进液口（8）。
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