[实用新型]芯片研磨夹具有效
| 申请号： | 201120292422.2 | 申请日： | 2011-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN202219453U | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 曾元宏 | 申请（专利权）人： | 宜硕科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201103 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种芯片研磨夹具，包括底座，在该底座上设有第一夹具角度调节结构、第二夹具角度调节机构和样品高度调节机构，其中该第一夹具角度调节机构、该第二夹具角度调节机构和该样品高度调节机构构造为它们之间的相对位置关系为三角形。本实用新型采用三支点进行样品标准化制备，可对样品进行角度调整，可标准化样品操作流程，以制具来补足人的差异性与技术不同，可更准确进行去层等步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 研磨 夹具 | ||
【主权项】：
一种芯片研磨夹具，其特征在于，该夹具包括底座，在该底座上设有第一夹具角度调节结构、第二夹具角度调节机构和样品高度调节机构，其中该第一夹具角度调节机构、该第二夹具角度调节机构和该样品高度调节机构构造为它们之间的相对位置关系为三角形。
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