[实用新型]芯片研磨夹具有效
| 申请号： | 201120292422.2 | 申请日： | 2011-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN202219453U | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 曾元宏 | 申请（专利权）人： | 宜硕科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201103 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 芯片 研磨 夹具 | ||
【权利要求书】：
1.一种芯片研磨夹具，其特征在于，该夹具包括底座，在该底座上设有第一夹具角度调节结构、第二夹具角度调节机构和样品高度调节机构，其中该第一夹具角度调节机构、该第二夹具角度调节机构和该样品高度调节机构构造为它们之间的相对位置关系为三角形。
2.根据权利要求1所述的芯片研磨夹具，该特征在于，该第一夹具角度调节机构包括第一角度调节旋钮和与之相连的第一角度调节档片。
3.根据权利要求1所述的芯片研磨夹具，该特征在于，该第二夹具角度调节机构包括第二角度调节旋钮和与之相连的第二角度调节档片。
4.根据权利要求1所述的芯片研磨夹具，该特征在于，该样品高度调节机构包括样品高度调节旋钮和与之相连的样品座。
5.根据权利要求1所述的芯片研磨夹具，该特征在于，该第一夹具角度调节机构、第二夹具角度调节机构和样品高度调节机构之间的相对位置关系是以该样品高度调节机构为顶点的等腰三角形。
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