[实用新型]一种硅片脱水设备

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗设备，其目的是提供一种运转平稳可靠、维护保养要求低，且成本较低的硅片脱水机。本实用新型具有位于机箱内的脱水机构、脱水辅助设备及电控系统，上述电控系统由交流伺服驱动电路、单片机或可编程控制器、触摸屏和交流伺服电机组成，触摸屏的数据通讯端分别和单片机或可编程控制器的数据通讯端及交流伺服驱动电路的通讯连接端连接，交流伺服驱动电路的电机连接端及编码器连接端分别和交流伺服电机的电源输入端及编码器输出端电连接。该硅片脱水设备中的电控体统可简化了操作复杂度，提高了工作的可靠性，又可以降低设备的生产成本。

主权项

一种硅片脱水设备，包括设置在机箱内的脱水机构、脱水辅助设备及电控系统，上述脱水机构包括脱水桶和可绕脱水桶中心轴旋转的用来固定被脱水硅片的脱水盘，脱水盘的转动轴通过传动装置和电控系统的伺服电机连接，上述脱水辅助设备包括向脱水桶内喷纯水以及氮气的喷射装置和桶内加热器，本装置由电控系统控制脱水机构的脱水转动和脱水辅助设备的运作，其特征在于，上述电控系统由交流伺服驱动电路、单片机或可编程控制器、触摸屏和交流伺服电机组成，触摸屏的数据通讯端分别和单片机或可编程控制器的数据通讯端及交流伺服驱动电路的通讯连接端连接，交流伺服驱动电路的电机连接端及编码器连接端分别和交流伺服电机的电源输入端及编码器输出端电连接。