[实用新型]一种硅片脱水设备

权利要求书

1.一种硅片脱水设备，包括设置在机箱内的脱水机构、脱水辅助设备及电控系统，上述脱水机构包括脱水桶和可绕脱水桶中心轴旋转的用来固定被脱水硅片的脱水盘，脱水盘的转动轴通过传动装置和电控系统的伺服电机连接，上述脱水辅助设备包括向脱水桶内喷纯水以及氮气的喷射装置和桶内加热器，本装置由电控系统控制脱水机构的脱水转动和脱水辅助设备的运作，其特征在于，上述电控系统由交流伺服驱动电路、单片机或可编程控制器、触摸屏和交流伺服电机组成，触摸屏的数据通讯端分别和单片机或可编程控制器的数据通讯端及交流伺服驱动电路的通讯连接端连接，交流伺服驱动电路的电机连接端及编码器连接端分别和交流伺服电机的电源输入端及编码器输出端电连接。

2.根据权利要求1所述的硅片脱水设备，其特征在于，在所述脱水桶的下方固定连接支撑底板，用来固定传动装置轴座及伺服电机安装座。

3.根据权利要求1所述的硅片脱水设备，其特征在于，所述交流伺服驱动电路的型号为ASD-A10421LA，可编程控制器的型号为DVP-24ES00R2，触摸屏的型号为DOP-A57BSTD。