[实用新型]一种硅片脱水设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种离心式硅片脱水设备，具体的是涉及脱水设备的电路控制系统。

背景技术

在太阳能硅片的生产中，经常需要对硅片进行清洗后的硅片需要脱水，硅片脱水机作为清洗完成之后的辅助设备使用，其设备性能的优劣直接影响到清洗效率。目前硅片脱水机都实现了自动化、智能化，其电控系统采用直流伺服电机、直流伺服驱动并通过继电器控制操作、显示，直流伺服电机存在电刷、换向器，维护和保养要求高，而且转动中震动与噪声也较大，另外由于使用继电器控制器，其可靠性较低操作复杂不直观。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种运转平稳可靠、维护保养要求低，且成本较低的硅片脱水设备。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是提供了一种硅片脱水设备，包括设置在机箱内的脱水机构、脱水辅助设备及电控系统，上述脱水机构包括脱水桶和可绕脱水桶中心轴旋转的用来固定被脱水硅片的脱水盘，脱水盘的转动轴通过传动装置和电控系统的伺服电机连接，上述脱水辅助设备包括向脱水桶内喷纯水以及氮气的喷射装置和桶内加热器，本装置由电控系统控制脱水机构的脱水转动和脱水辅助设备的运作，其特征在于，上述电控系统由交流伺服驱动电路、单片机或可编程控制器、触摸屏和交流伺服电机组成，触摸屏的数据通讯端分别和单片机或可编程控制器的数据通讯端及交流伺服驱动电路的通讯连接端连接，交流伺服驱动电路的电机连接端及编码器连接端分别和交流伺服电机的电源输入端及编码器输出端电连接。

作为优选的技术方案，在所述脱水桶的下方固定连接支撑底板，用来固定传动装置轴座及伺服电机安装座。

作为优选的技术方案，所述交流伺服驱动电路的型号为ASD-A10421LA，可编程控制器的型号为DVP-24ES00R2，触摸屏的型号为DOP-A57BSTD。

本实用新型的优点和有益效果在于：该硅片脱水设备中的电控体统，采用交流伺服驱动系统使得本装置维护和保养要求低，可降低装置在工作中的震动与噪声，并且运行更为可靠平稳；另外用触摸屏和单片机或可编程控制器的控制方式替代继电器操控，既简化了操作复杂度，提高了工作的可靠性，又可以降低设备的生产成本。

附图说明

图1是本实用新型硅片脱水设备的结构示意图；

图2是本实用新型硅片脱水设备的电控系统原理图；

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

如图1所示，为本实用新型硅片脱水设备的整机结构示意图，其中脱水机构位于机箱中上部，在脱水桶1下方设有一个支撑底板3，脱水桶内设有脱水盘2，上述脱水盘可以绕脱水桶的中心轴转动，脱水辅助设备的喷射装置6位于脱水桶中心轴线，当需要向桶内被脱水硅片加纯水或氮气时，喷射装置可以喷射出水汽及氮气，脱水盘2的转动轴通过传动装置4与伺服电机5传动连接，上述传动装置轴座和伺服电机的安装轴固定在支撑底板3上，脱水辅助设备的加热器7位于脱水机机箱底部。

图2为本硅片脱水设备的电控系统原理图，在本实施例中选用可编程控制器的数据通讯端和触摸屏的第一数据通讯端连接，触摸屏的第二数据通讯端和交流伺服驱动电路的通讯连接端双向连接，上述交流伺服驱动电路的编码器连接端及电机连接端分别和交流伺服电机的编码器输出端及电源输入端连接。

上述可编程控制器的型号为DVP-24ES00R2，其L、N端输入220V开关一、按钮开关二以及限位开关相连，并且通过可编程控制器控制电磁阀执行相应的机械运动。可编程控制器的C/C7输入24V工作电源，YO-Y7输出端分别与电磁阀及其他操作开关相连，实现添加纯水、加热及喷射氯气的功能。

上述触摸屏型号为DOP-A57BSTD工作电压为24V，其第一数据通讯端COM1与可编程控制器的数据通讯端COM1连接，操作者可以在触摸屏上输入对被脱水的工件加热、加气等操作指令，出触摸屏处理芯片处理发送到可编程控制器执行；其第二数据通讯端COM2与交流伺服驱动电路的通讯连接端CN3双向连接，对于交流伺服电机的操作指令由此通讯端发送，并且伺服电机的运转状况也可以反馈回来在触摸屏显示出来。