[实用新型]二极管酸洗脱水设备无效
| 申请号: | 201120224335.3 | 申请日: | 2011-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN202103029U | 公开(公告)日: | 2012-01-04 |
| 发明(设计)人: | 徐谦;李伟;戴亮;庄娟梅 | 申请(专利权)人: | 常州佳讯光电产业发展有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/329 |
| 代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 何学成 |
| 地址: | 213022 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本实用新型公开了一种二极管酸洗脱水设备,包括依次连接的化学酸洗段、水超声清洗段、烘干段、冷却段、1号异丙醇缸和2号异丙醇缸,所述的烘干段设置有紫外灯和温度调控开关,所述的紫外灯与温度调控开关相连接;所述的冷却段设置有风扇和风速调节开关,所述的风扇与风速调节开关相连接,本实用新型的有益效果在于,减少操作人员的工作量,提高了工作效率,同时避免了二级管组件在酸洗脱水过程中对二级管组件的损坏,减少了成本。 | ||
| 搜索关键词: | 二极管 酸洗 脱水 设备 | ||
【主权项】:
二极管酸洗脱水设备,其特征在于:包括依次连接的化学酸洗段、水超声清洗段、烘干段、冷却段、1号异丙醇缸和2号异丙醇缸,所述的烘干段设置有紫外灯和温度开关,所述的紫外灯与温度开关相连接;所述的冷却段设置有风扇和风速调节开关,所述的风扇与风速调节开关相连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





