[实用新型]真空设备的转轴装置有效
| 申请号： | 201120218628.0 | 申请日： | 2011-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN202144513U | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 黄泳钊;郑博仁;谢昆山;张延任 | 申请（专利权）人： | 北儒精密股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 任永武;须一平 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种真空设备的转轴装置，其设置在一个供容置一块基板的腔体上，并包含一个贯穿设置在该腔体的一个腔壁上且具有一根中心轴的转轴单元、一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行转动的驱转单元，以及一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行轴向位移的轴移单元，该中心轴具有一个位在该腔体中且用以承载该基板的第一端部，以及一个相反于该第一端部且位在该腔体外并与该驱转单元连结的第二端部。本实用新型主要，通过该中心轴相对该腔壁进行转动或轴向位移的方式，可增进该真空设备的作业弹性度与适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空设备 转轴 装置 | ||
【主权项】：
一种真空设备的转轴装置，其设置在一个容置一块基板的腔体上，并包含一个贯穿设置在该腔体的一个腔壁上的转轴单元，该转轴单元具有一根中心轴；其特征在于：该真空设备的转轴装置还包含一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行转动的驱转单元，以及一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行轴向位移的轴移单元，该中心轴具有一个位在该腔体中且用以承载该基板的第一端部，以及一个相反于该第一端部且位在该腔体外并与该驱转单元连结的第二端部。
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