[实用新型]真空设备的转轴装置

权利要求书

1.一种真空设备的转轴装置，其设置在一个容置一块基板的腔体上，并包含一个贯穿设置在该腔体的一个腔壁上的转轴单元，该转轴单元具有一根中心轴；其特征在于：

该真空设备的转轴装置还包含一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行转动的驱转单元，以及一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行轴向位移的轴移单元，该中心轴具有一个位在该腔体中且用以承载该基板的第一端部，以及一个相反于该第一端部且位在该腔体外并与该驱转单元连结的第二端部。

2.根据权利要求1所述的真空设备的转轴装置，其特征在于：该轴移单元具有一个进行张合动作以夹持或松放该中心轴的第二端部的夹爪件，以及一个连结该夹爪件且驱使其带动该中心轴进行轴向位移的动力件。

3.根据权利要求2所述的真空设备的转轴装置，其特征在于：该轴移单元还具有一个连结该夹爪件与该动力件的连接板，该动力件具有一个缸体，以及一个平行该中心轴且可伸缩动作地插伸在该缸体中的杆体，该杆体的凸出该缸体的一端连接该连接板。

4.根据权利要求2或3所述的真空设备的转轴装置，其特征在于：该转轴单元的中心轴的第二端部具有一个供该轴移单元的夹爪件扣入的凹槽。

5.根据权利要求1所述的真空设备的转轴装置，其特征在于：该转轴单元还包括一个套设并固定在该中心轴的第一端部的承载轮。

6.根据权利要求4所述的真空设备的转轴装置，其特征在于：该转轴单元还包括一个套设并固定在该中心轴的第一端部的承载轮。