[实用新型]真空设备的转轴装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空设备的转轴装置，特别是指一种用以载送一块基板的真空设备的转轴装置。

背景技术

当一个真空溅镀设备在运作时，一块基板会被载送至一个腔体中，以依序进行如加热、镀膜、…、加热改质等各项加工处理，于后再被载送出该腔体外。

有关该基板的载送手段，常见是以多根转轴分别对称设置在一个腔体的相反二个侧壁上以排成二个转轴列，通过所述二个转轴列分别承载该基板的相反二个侧缘的方式，来达到将该基板滚送进该腔体中，或滚送出该腔体外的作用。

不过，由于所述二个转轴列间的间距是固定不变的，所述二个转轴列只能用来载送特定尺寸的基板，而且，所述二个转轴列相对于该腔体的位置关系是固定的，无法进行伸缩移动，在该基板为了因应其他加工作业需求，而必须暂时脱离所述二个转轴列并被其他载具移送至该腔体内部的他处时，所述二个转轴列便可能对该基板的移动造成不便，如此势必影响到整个溅镀工序的成本与效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能相对一个腔体进行轴向位移调整，以增进作业弹性度的真空设备的转轴装置。

本实用新型的真空设备的转轴装置，其设置在一个容置一块基板的腔体上，并包含一个贯穿设置在该腔体的一个腔壁上且具有一根中心轴的转轴单元、一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行转动的驱转单元，以及一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行轴向位移的轴移单元，该中心轴具有一个位在该腔体中且用以承载该基板的第一端部，以及一个相反于该第一端部且位在该腔体外并能与该驱转单元连结的第二端部。

本实用新型所述的真空设备的转轴装置，该轴移单元具有一个进行张合动作以夹持或松放该中心轴的第二端部的夹爪件，以及一个连结该夹爪件且驱使其带动该中心轴进行轴向位移的动力件。

本实用新型所述的真空设备的转轴装置，该轴移单元还具有一个连结该夹爪件与该动力件的连接板，该动力件具有一个缸体，以及一个平行该中心轴且可伸缩动作地插伸在该缸体中的杆体，该杆体的凸出该缸体的一端连接该连接板。

本实用新型所述的真空设备的转轴装置，该转轴单元的中心轴的第二端部具有一个供该轴移单元的夹爪件扣入的凹槽。

本实用新型所述的真空设备的转轴装置，该转轴单元还包括一个套设并固定在该中心轴的第一端部的承载轮

本实用新型的有益效果在于，通过该轴移单元驱使该中心轴相对该腔壁进行轴向位移的方式，可增进该真空设备的作业弹性度与适用性。

附图说明

图1是一侧剖示意图，说明本实用新型真空设备的转轴装置的一个较佳实施例，其安装在一个腔体的一个腔壁上；

图2是取自于图1的一局部放大图；

图3是一俯视图，说明该较佳实施例的一个夹爪件松放一根中心轴的一个第二端部，且该中心轴进行转动；

图4是一俯视图，说明该较佳实施例的该夹爪件径向夹持该中心轴的第二端部，以带动该中心轴进行轴向位移；以及

图5是一侧视图，说明该较佳实施例的一个动力件驱使该夹爪件带动该中心轴进行轴向位移。

具体实施方式

以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。

如图1至图3所示，本实用新型真空设备的转轴装置的该较佳实施例，其贯穿设置在该真空设备的一个腔体1的一个腔壁11上，用以支承一块平放式的基板3的一侧并施予滚送作用。所以，实际在进行该基板3的载送时，必须通过多个对称设置在该腔体1的相反二个腔壁11上的本实用新型真空设备的转轴装置，才能使该基板3的相反二侧受到均衡支承，并平稳地予以载送，图1是显示出相对称的二个本实用新型分别支承该基板3的相反二侧的状态。

该真空设备的转轴装置包含一个贯穿设置在该腔体1的该腔壁11上的转轴单元2、一个设置在该腔壁11外的驱转单元4，以及一个设置在该腔壁11外的轴移单元5。