[实用新型]多晶硅还原炉顶部进气装置有效
| 申请号： | 201120176649.0 | 申请日： | 2011-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN202131101U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 李东曦;李严州;程佳彪;茅陆荣 | 申请（专利权）人： | 上海森松环境技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 马育麟 |
| 地址： | 200137 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种多晶硅还原炉顶部进气装置，包括进气总管、设置在还原炉上的进气分配管、连接进气分配管与还原炉的进气支管，设置在进气支管末端的喷嘴。本实用新型通过在还原炉顶部设置进气装置，形成独特的工艺气体进气形式，改善了还原炉内部气体分布情况，特别是还原炉上方的气体分布情况，使硅料的生长更均匀，更致密，提高了硅料的产品质量，减少了生产中非正常停车的次数，提高了设备安全性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 炉顶 部进气 装置 | ||
【主权项】：
多晶硅还原炉顶部进气装置，其特征在于，包括进气总管、进气分配管、连接进气分配管与还原炉的进气支管。
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