[实用新型]多晶硅还原炉顶部进气装置有效
| 申请号： | 201120176649.0 | 申请日： | 2011-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN202131101U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 李东曦;李严州;程佳彪;茅陆荣 | 申请（专利权）人： | 上海森松环境技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 马育麟 |
| 地址： | 200137 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 炉顶 部进气 装置 | ||
【权利要求书】：
1.多晶硅还原炉顶部进气装置，其特征在于，包括进气总管、进气分配管、连接进气分配管与还原炉的进气支管。
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉顶部进气装置，其特征在于，所述进气支管末端设有喷嘴。
3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉顶部进气装置，其特征在于，所述进气总管位于还原炉顶部。
4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉顶部进气装置，其特征在于，所述进气分配管位于还原炉顶部。
5.根据权利要求1或4所述的多晶硅还原炉顶部进气装置，其特征在于，所述进气分配管为环形。
6.根据权利要求5所述的多晶硅还原炉顶部进气装置，其特征在于，所述进气支管为五个，其中一个位于还原炉中心，其余四个按环形均匀分布。
7.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉顶部进气装置，其特征在于，所述进气支管位于还原炉封头，或者筒体，或者其他任意顶部位置。
8.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉顶部进气装置，其特征在于，所述进气支管垂直于所在还原炉壳体。
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