[实用新型]多晶硅铸锭炉有效
申请号: | 201120150252.4 | 申请日: | 2011-05-12 |
公开(公告)号: | CN202107795U | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 南志华 | 申请(专利权)人: | 石金精密科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、设置在炉体内的坩埚、设置在所述坩埚下方的热交换平台以及若干支撑柱,支撑柱连接在热交换平台与所述炉体的底部之间,用于支撑所述热交换平台及坩埚;坩埚截面长1000mm~1500mm,宽1000mm~1500mm;坩埚高400mm~550mm。本实用新型通过降低热交换平台的高度,增大坩埚的放置空间,有效增加坩埚长宽方向的尺寸及高度,从而使坩埚的容积量增大;同时对加热器结构进行改进,增加其高度,从而大大提高了多晶硅铸锭炉的单位产能,提高了效率,且能耗降低,节省了成本。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉,包括炉体及设置在所述炉体内的坩埚,其特征在于,还包括:设置在所述坩埚下方的热交换平台,以及若干支撑柱,所述支撑柱连接在所述热交换平台与所述炉体的底部之间,用于支撑所述热交换平台及坩埚;所述坩埚截面长1000mm~1500mm,宽1000mm~1500mm;坩埚高400mm~550mm。
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