[实用新型]多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉，包括炉体及设置在所述炉体内的坩埚，其特征在于，还包括：设置在所述坩埚下方的热交换平台，以及若干支撑柱，所述支撑柱连接在所述热交换平台与所述炉体的底部之间，用于支撑所述热交换平台及坩埚；所述坩埚截面长1000mm～1500mm，宽1000mm～1500mm；坩埚高400mm～550mm。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述热交换平台顶部与所述炉体的底部之间的距离为700mm-900mm。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述炉体包括具有所述炉体底部的下炉体，所述下炉体顶部具有端面，所述下炉体顶部的端面与所述热交换平台的顶部之间的距离为30mm～60mm。

4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，还包括热场箱，位于所述炉体内及坩埚外，所述热场箱包括底部保温板，所述支撑杆穿过所述底部保温板连接在所述热交换平台与炉体底部之间；支撑柱与底部保温板的连接处设有台阶，底部保温板放置于所述支撑柱的台阶上。

5.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，还包括加热器及电极，所述热场箱还包括隔热笼、侧面保温板及顶部保温板；侧面保温板固定在隔热笼上，侧面保温板与顶部保温板可分离，电极固定在炉体的电极连接杆上，顶部保温板通过电极固定在所述炉体上；所述加热器位于所述热场箱内及坩埚外，并与所述电极连接。

6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述加热器高度为180mm～250mm，其形状为呈弯曲状的倒m型，包括相互平行的左部、中部及右部，所述左部与中部之间的第一连接部上设有第一凸起；所述中部与右部之间的第二连接部上设有第二凸起。

7.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，还包括若干提升杆，连接在所述热场箱的隔热笼与炉体的顶部之间，用于悬挂所述热场箱的隔热笼与侧面保温板，该隔热笼与侧面保温板可随提升杆的提升向上移动。

8.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述热场箱的侧面保温板与底部保温板的连接处通过台阶端面贴合，侧面保温板通过提升杆向上提升时与该底部保温板分离。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，还包括坩埚侧板及坩埚底板，所述坩埚侧板设置在坩埚的侧壁外；所述坩埚底板设置在坩埚底部与热交换平台之间。

10.根据权利要求1-7中任一项所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述多晶硅铸锭炉的功率为160KW-200KW。