[实用新型]多晶硅铸锭炉有效

专利信息
申请号: 201120150252.4 申请日: 2011-05-12
公开(公告)号: CN202107795U 公开(公告)日: 2012-01-11
发明(设计)人: 南志华 申请(专利权)人: 石金精密科技(深圳)有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 代理人: 胡海国
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 多晶 铸锭
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及多晶硅铸锭炉技术领域,尤其涉及一种大容量的多晶硅铸锭炉。 

背景技术

多晶硅铸锭炉是一种硅原料重融设备,用于低成本生产太阳能级多晶硅铸锭,其作用是将硅原料按照设定的工艺,经过加热融化、定向结晶、退火、冷却等阶段后成为沿一定方向生长的多晶硅锭。 

太阳能的大量使用,使得人们对传统能源的使用适度的减少,改善了环境,也解决了部分能源问题。随着多晶硅铸锭炉的大量使用,如何有效的降低单位能耗,提高产能,是太阳能多晶硅铸锭研发领域中有待解决的问题。 

现有的多晶硅铸锭炉的容量有限,单位能耗较高,生产效率较低。 

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种生产效率高的多晶硅铸锭炉。 

为了达到上述目的,本实用新型提出一种多晶硅铸锭炉,包括炉体及设置在所述炉体内的坩埚、设置在所述坩埚下方的热交换平台,以及若干支撑柱,所述支撑柱连接在所述热交换平台与所述炉体的底部之间,用于支撑所述热交换平台及坩埚;所述坩埚截面长1000mm~1500mm,宽1000mm~1500mm;坩埚高400mm~550mm。 

优选地,所述热交换平台顶部与所述炉体的底部之间的距离为700mm-900mm。 

优选地,所述炉体包括具有所述炉体底部的下炉体,所述下炉体顶部具有端面,所述下炉体顶部的端面与所述热交换平台的顶部之间的距离为30mm~60mm。 

优选地,还包括热场箱,位于所述炉体内及坩埚外,所述热场箱包括底部保温板,所述支撑杆穿过所述底部保温板连接在所述热交换平台与炉体底 部之间;支撑柱与底部保温板的连接处设有台阶,底部保温板放置于所述支撑柱的台阶上。 

优选地,还包括加热器及电极,所述热场箱还包括隔热笼、侧面保温板及顶部保温板;侧面保温板固定在隔热笼上,侧面保温板与顶部保温板可分离,电极固定在炉体的电极连接杆上,顶部保温板通过电极固定在所述炉体上;所述加热器位于所述热场箱内及坩埚外,并与所述电极连接。 

优选地,所述加热器高度为180mm~250mm,其形状为呈弯曲状的倒m型,包括相互平行的左部、中部及右部,所述左部与中部之间的第一连接部上设有第一凸起;所述中部与右部之间的第二连接部上设有第二凸起。 

优选地,还包括若干提升杆,连接在所述热场箱的隔热笼与炉体的顶部之间,用于悬挂所述热场箱的隔热笼与侧面保温板,该隔热笼与侧面保温板可随提升杆的提升向上移动。 

优选地,所述热场箱的侧面保温板与底部保温板的连接处通过台阶端面贴合,侧面保温板通过提升杆向上提升时与该底部保温板分离。 

优选地,还包括坩埚侧板及坩埚底板,所述坩埚侧板设置在坩埚的侧壁外;所述坩埚底板设置在坩埚底部与热交换平台之间。 

优选地,所述多晶硅铸锭炉的功率为160KW-200KW。 

本实用新型提出的一种多晶硅铸锭炉,通过降低热交换平台的高度,增大坩埚的放置空间,有效增加坩埚长宽方向的尺寸及高度,从而使坩埚的容积量增大;同时对加热器结构进行改进,增加其高度,从而大大提高了多晶硅铸锭炉的单位产能,提高了效率,且能耗降低,节省了成本。 

附图说明

图1是本实用新型多晶硅铸锭炉一实施例的结构示意图; 

图2是现有的多晶硅铸锭炉中加热器的结构示意图; 

图3是本实用新型多晶硅铸锭炉一实施例中加热器的结构示意图。 

为了使本实用新型的技术方案更加清楚、明了,下面将结合附图作进一步详述。 

具体实施方式

本实用新型技术方案总体思路是:通过降低热交换平台的高度,增大坩埚的放置空间,有效增加坩埚长宽方向的尺寸及高度,使坩埚的容积量增大;同时对加热器结构进行改进,增加其高度,以提高多晶硅铸锭炉的单位产能,提高效率。 

以下将结合附图及实施例,对实现实用新型目的的技术方案作详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。 

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于石金精密科技(深圳)有限公司,未经石金精密科技(深圳)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120150252.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top