[实用新型]多晶硅铸锭炉有效
申请号: | 201120150252.4 | 申请日: | 2011-05-12 |
公开(公告)号: | CN202107795U | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 南志华 | 申请(专利权)人: | 石金精密科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 | ||
技术领域
本实用新型涉及多晶硅铸锭炉技术领域,尤其涉及一种大容量的多晶硅铸锭炉。
背景技术
多晶硅铸锭炉是一种硅原料重融设备,用于低成本生产太阳能级多晶硅铸锭,其作用是将硅原料按照设定的工艺,经过加热融化、定向结晶、退火、冷却等阶段后成为沿一定方向生长的多晶硅锭。
太阳能的大量使用,使得人们对传统能源的使用适度的减少,改善了环境,也解决了部分能源问题。随着多晶硅铸锭炉的大量使用,如何有效的降低单位能耗,提高产能,是太阳能多晶硅铸锭研发领域中有待解决的问题。
现有的多晶硅铸锭炉的容量有限,单位能耗较高,生产效率较低。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种生产效率高的多晶硅铸锭炉。
为了达到上述目的,本实用新型提出一种多晶硅铸锭炉,包括炉体及设置在所述炉体内的坩埚、设置在所述坩埚下方的热交换平台,以及若干支撑柱,所述支撑柱连接在所述热交换平台与所述炉体的底部之间,用于支撑所述热交换平台及坩埚;所述坩埚截面长1000mm~1500mm,宽1000mm~1500mm;坩埚高400mm~550mm。
优选地,所述热交换平台顶部与所述炉体的底部之间的距离为700mm-900mm。
优选地,所述炉体包括具有所述炉体底部的下炉体,所述下炉体顶部具有端面,所述下炉体顶部的端面与所述热交换平台的顶部之间的距离为30mm~60mm。
优选地,还包括热场箱,位于所述炉体内及坩埚外,所述热场箱包括底部保温板,所述支撑杆穿过所述底部保温板连接在所述热交换平台与炉体底 部之间;支撑柱与底部保温板的连接处设有台阶,底部保温板放置于所述支撑柱的台阶上。
优选地,还包括加热器及电极,所述热场箱还包括隔热笼、侧面保温板及顶部保温板;侧面保温板固定在隔热笼上,侧面保温板与顶部保温板可分离,电极固定在炉体的电极连接杆上,顶部保温板通过电极固定在所述炉体上;所述加热器位于所述热场箱内及坩埚外,并与所述电极连接。
优选地,所述加热器高度为180mm~250mm,其形状为呈弯曲状的倒m型,包括相互平行的左部、中部及右部,所述左部与中部之间的第一连接部上设有第一凸起;所述中部与右部之间的第二连接部上设有第二凸起。
优选地,还包括若干提升杆,连接在所述热场箱的隔热笼与炉体的顶部之间,用于悬挂所述热场箱的隔热笼与侧面保温板,该隔热笼与侧面保温板可随提升杆的提升向上移动。
优选地,所述热场箱的侧面保温板与底部保温板的连接处通过台阶端面贴合,侧面保温板通过提升杆向上提升时与该底部保温板分离。
优选地,还包括坩埚侧板及坩埚底板,所述坩埚侧板设置在坩埚的侧壁外;所述坩埚底板设置在坩埚底部与热交换平台之间。
优选地,所述多晶硅铸锭炉的功率为160KW-200KW。
本实用新型提出的一种多晶硅铸锭炉,通过降低热交换平台的高度,增大坩埚的放置空间,有效增加坩埚长宽方向的尺寸及高度,从而使坩埚的容积量增大;同时对加热器结构进行改进,增加其高度,从而大大提高了多晶硅铸锭炉的单位产能,提高了效率,且能耗降低,节省了成本。
附图说明
图1是本实用新型多晶硅铸锭炉一实施例的结构示意图;
图2是现有的多晶硅铸锭炉中加热器的结构示意图;
图3是本实用新型多晶硅铸锭炉一实施例中加热器的结构示意图。
为了使本实用新型的技术方案更加清楚、明了,下面将结合附图作进一步详述。
具体实施方式
本实用新型技术方案总体思路是:通过降低热交换平台的高度,增大坩埚的放置空间,有效增加坩埚长宽方向的尺寸及高度,使坩埚的容积量增大;同时对加热器结构进行改进,增加其高度,以提高多晶硅铸锭炉的单位产能,提高效率。
以下将结合附图及实施例,对实现实用新型目的的技术方案作详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
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