[实用新型]薄膜气相淀积设备用薄膜厚度均匀性调整片无效
| 申请号： | 201120081541.3 | 申请日： | 2011-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN202116638U | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 童筱钧 | 申请（专利权）人： | 童筱钧 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C16/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214062 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种薄膜气相淀积设备用薄膜厚度均匀性调整片，它是由支架部分和不锈钢类材质制作的的特定形状的薄膜遮挡片组成。不锈钢类材质制作的的特定形状的薄膜遮挡片由两部分构成：一个部分是一定厚度的长度超过源靶材长度的不锈钢类材质的板，取名板1。板1上等间隔或不等间隔的加工有螺丝孔。另一个部分包括很多一定厚度、一定宽度的不锈钢薄板，取名薄板2，薄板2上加工有用于固定到板1上的相应的螺丝孔。薄板2有长有短，用螺丝固定在板1之上，薄板2与板1相垂直，板1与薄板2构成特定形状的薄膜遮挡片。该薄膜厚度均匀性调整片能够保证制作精度，重复性好，降低制作的复杂程度。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 气相淀积设 备用 厚度 均匀 调整 | ||
【主权项】：
一种薄膜气相淀积设备用薄膜厚度均匀性调整片，由固定在支架上的调节板组成，其特征是：调节板由多个长度变化的薄板沿支架长度方向排列、并固定在支架上，每只薄板其长度方向垂直于调节板的走向。
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