[实用新型]薄膜气相淀积设备用薄膜厚度均匀性调整片无效
| 申请号： | 201120081541.3 | 申请日： | 2011-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN202116638U | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 童筱钧 | 申请（专利权）人： | 童筱钧 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C16/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214062 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 气相淀积设 备用 厚度 均匀 调整 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄膜气相淀积设备用薄膜厚度均匀性调整片，由固定在支架上的调节板组成，其特征是：调节板由多个长度变化的薄板沿支架长度方向排列、并固定在支架上，每只薄板其长度方向垂直于调节板的走向。
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