[实用新型]立式真空镀膜机的高温基板传输水冷装置

摘要

一种立式真空镀膜机的高温基板传输水冷装置，包括：一腔体，为竖直的壳体并具有前、后面以及左、右两侧，在该腔体内部以贯穿左、右两侧的形态穿设一溅镀空间；在腔体内的顶部设有水冷导引构造，其在腔体顶部的底面以左、右间隔的形态结合多个分别朝下垂直延伸的基板支架杆，在各基板支架杆底端结合一基板，该基板为沿左、右方向延伸的长板体，在基板顶面结合水冷管，在基板底部结合多个朝下凸伸的滚轮座，在各滚轮座底部的周面以可旋转的形态套设一导引作用的滚轮，以水冷管引进外部的冷却水进入腔体内，将水冷导引构造的热能带走，使水冷导引构造上的温度保持一定，防止热变形影响滚轮传输的稳定性，因此能保持镀膜的均匀性。

主权项

一种立式真空镀膜机的高温基板传输水冷装置，其特征在于，包括：一腔体，为竖直的壳体并具有前、后面以及左、右两侧，在该腔体内部以贯穿左、右两侧的形态穿设一溅镀空间；以及一水冷导引构造，设置在该溅镀空间内的顶部，在该腔体顶部的底面以左、右间隔的形态结合多个分别朝下垂直延伸的基板支架杆，在多数个基板支架杆的底端结合一基板，该基板为沿左、右方向延伸的长板体，在该基板的顶面结合一水冷管，在该基板的底面结合多个朝下凸伸的滚轮座，在各滚轮座底部的周面以可旋转的形态套设一滚轮。