[实用新型]镀膜机真空室温度自动控制装置及真空镀膜机无效
| 申请号： | 201120055634.9 | 申请日： | 2011-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN201981256U | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 郑刚良;苗苗;杜庆荣;安琪;张金伶 | 申请（专利权）人： | 北京无线电计量测试研究所 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;G05D23/24 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 王德桢 |
| 地址： | 100854 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜机领域，具体涉及一种镀膜机真空室温度自动控制装置。该装置包括热敏电阻，温度控制器，和受控开关，其中该热敏电阻安装在镀膜机真空室内，用于测量镀膜机真空室温度；该温度控制器用于设定镀膜机真空室所需温度值，接收所述热敏电阻测量的镀膜机真空室温度，当该测量温度值低于该设定温度值时，输出使受控开关接通的直流电压，当该测量温度值高于该设定温度值时，输出使受控开关断开的直流电压；该受控开关根据所述温度控制器输出的直流电压接通或断开，从而控制镀膜机的真空室加热装置通电或断电。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 真空 温度 自动控制 装置 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种镀膜机真空室温度自动控制装置，其特征在于，该镀膜机真空室温度自动控制装置包括：热敏电阻，安装在镀膜机真空室内，用于测量镀膜机真空室温度；温度控制器，用于设定镀膜机真空室所需温度值，接收所述热敏电阻测量的镀膜机真空室温度并将测量温度值与设定温度值进行比较，当该测量温度值低于该设定温度值时，输出使受控开关接通的直流电压，当该测量温度值高于该设定温度值时，输出使受控开关断开的直流电压；和受控开关，根据所述温度控制器输出的直流电压接通或断开，从而控制镀膜机的真空室加热装置通电或断电。
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