[发明专利]一种蚀刻机无效
| 申请号： | 201110451370.3 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102492946A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 欧阳建英;梁启光 | 申请（专利权）人： | 特新电路材料（东莞）有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523380 广东省东莞市茶*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蚀刻机，其包括控制系统以及与控制系统电连接的并且依次设置的进板机构、显影机构、蚀刻机构、退膜机构、脱水烘干机构和出板机构，所述进板机构、所述显影机构、所述蚀刻机构、所述退膜机构、所述脱水烘干机构和所述出板机构通过独立设置的传动装置连接，所述显影机构、所述蚀刻机构和所述退膜机构分别连接有分段式排气装置、过滤装置以及泵装置。本发明能将显影、蚀刻、退膜等工序有机地结合为一体，在一台设备中自动完成整个生产制造过程，自动化程度高，同时设计合理，制板和过滤回收效果好，给相关行业带来比巨大的益处。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种蚀刻机，其特征在于：其包括控制系统以及与控制系统电连接的并且依次设置的进板机构（1）、显影机构（2）、蚀刻机构（3）、退膜机构（4）、脱水烘干机构（5）和出板机构（6），所述进板机构（1）、所述显影机构（2）、所述蚀刻机构（3）、所述退膜机构（4）、所述脱水烘干机构（5）和所述出板机构（6）分别通过独立设置的传动装置（7）连接，所述显影机构（2）、所述蚀刻机构（3）和所述退膜机构（4）分别连接有分段式排气装置（8）、过滤装置以及泵装置。
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