[发明专利]一种蚀刻机无效
申请号: | 201110451370.3 | 申请日: | 2011-12-30 |
公开(公告)号: | CN102492946A | 公开(公告)日: | 2012-06-13 |
发明(设计)人: | 欧阳建英;梁启光 | 申请(专利权)人: | 特新电路材料(东莞)有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523380 广东省东莞市茶*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蚀刻 | ||
技术领域
本发明涉及印刷电路板生产设备技术领域,特指一种蚀刻机。
背景技术
随着电子技术的飞速发展,印刷电路板集成度越来越高,印刷电路板的导电线路制作得越来越精细,这要求生产制作印刷电路板时要保证控制严格,减少公差,均匀性要好。
现有的湿式印刷电路板生产设备的成本较低、操作简单,在印刷电路板的生产中得以广泛使用。印刷电路板生产的基本工序一般包括显影过程、蚀刻过程和退膜过程,显影过程是指采用显影液将膜上未经紫外线辐射的部分溶解,已经紫外线辐射而发生聚合反应的部分保留;蚀刻过程是指采用蚀刻液将印刷电路板上未被保护膜保护而露出的铜蚀刻掉;退膜过程是指将印刷电路板上的保护膜去掉,露出已加工好的线路。
然而,在制作印刷电路板的过程中,往往会发现现有的印刷电路板生产设备存在以下的不足。
1、显影、蚀刻和退膜等工艺不能同时集中在同一台设备上,不能达到一次完成的生产要求,同时自动化程度低,生产设备上缺乏控制系统,导致设备上的诸多调整需要人工操作,使工作效率降低。
2、印刷电路板传送的过程中,容易发生打滑、偏移等问题,导致传输的效果降低,影响显影、蚀刻和退膜效果。
3、在蚀刻的过程中由于设备的结构设计不合理,使蚀刻液自电路板的边缘区流出板外,而电路板的中央区域积留,形成水池,产生水池效应。
4、随着印刷电路板生产规模不断扩大,从中自然会产生诸多废弃物,由于现有的印刷电路板生产设备的过滤回收效果差和设计不合理,该废弃物对室内和室外环境的污染已经严重影响工作和生活环境,同时废弃物中具有诸多可循环利用的原料,造成了浪费和生产成本的升高。
因此,有必要设计一种集显影、蚀刻和退膜等工艺为一体、设计合理、制板和过滤回收效果良好的自动化蚀刻机。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足提供一种蚀刻机,它结构设计合理,集显影、蚀刻和退膜等工艺为一体,制板和过滤回收效果良好,自动化程度高。
为实现上述目的,本发明是通过以下技术方案实现的。
一种蚀刻机,其包括控制系统以及与控制系统电连接的并且依次设置的进板机构、显影机构、蚀刻机构、退膜机构、脱水烘干机构和出板机构,所述进板机构、所述显影机构、所述蚀刻机构、所述退膜机构、所述脱水烘干机构和所述出板机构通过独立设置的传动装置连接,所述显影机构、所述蚀刻机构和所述退膜机构分别连接有分段式排气装置、过滤装置以及泵装置。
进一步的,所述显影机构包括依次设置的显影室和第一清洗室,所述显影室内设置有储存显影液体的显影槽和摇摆架喷淋装置;所述第一清洗室内设置有第一清洗槽和复数个位于传动装置上下方的清洗喷嘴。
进一步的,所述蚀刻机构包括依次设置的蚀刻室、补偿室和第二清洗室,所述蚀刻室与所述补偿室通过液体管道连接,所述蚀刻室设置有储存蚀刻液体的蚀刻槽和摇摆架喷淋装置;所述补偿室设置有补偿装置,补偿装置由复数根上喷管和复数根下喷管构成,上喷管和下喷管分别通过气阀与进水管连接,上喷管和下喷管分别设置有复数个补偿喷嘴,相邻的上喷管之间的喷嘴交错排布,复数根所述上喷管的喷嘴形成三角型排布,气阀与进水管之间连接有压力表;所述第二清洗室设置有第二清洗槽和复数个位于传动装置上下方的清洗喷嘴。
进一步的,所述摇摆架喷淋装置由摇摆架和压力控制装置构成,摇摆架通过上接软管和下接软管与压力控制装置相连接,所述摇摆架包括上喷架和下喷架,所述上喷架和所述下喷架通过摇臂连接,上喷架的板面和下喷架的板面上分别设置有复数个出水口,所述出水口是均匀分布的,出水口上设置有喷嘴,上喷架固定连接有拉臂,拉臂设置有偏心块,偏心块与马达连接轴连接,摇臂中部设置有固定销;所述压力控制装置包括压力表和球阀。
进一步的,所述退膜机构包括依次设置的退膜室和第三清洗室,所述退膜室设置有储存退膜液体的退膜槽和喷洒装置,所述喷洒装置设置有喷管和喷嘴,喷嘴由喷嘴座、喷头和喷嘴盖组成,喷头设置于喷嘴座内,喷嘴盖连接于喷嘴座,喷嘴座通过前夹扣和后夹扣固定在喷管沿长度方向设置的出水孔上,前夹扣和后夹扣通过螺栓连接;所述第三清洗室内设置有第三清洗槽和复数个位于传动装置上下方的清洗喷嘴。
进一步的,所述脱水烘干机构包括依次设置的冷风吹干装置和热风烘干装置,所述热风烘干装置设置有鼓风机、热风分支器和热风管,鼓风机和热风分支器位于传送装置的下方,所述传送装置的上下两侧分别设置有风刀装置。
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