[发明专利]一种蚀刻机

权利要求书

1.一种蚀刻机，其特征在于：其包括控制系统以及与控制系统电连接的并且依次设置的进板机构（1）、显影机构（2）、蚀刻机构（3）、退膜机构（4）、脱水烘干机构（5）和出板机构（6），所述进板机构（1）、所述显影机构（2）、所述蚀刻机构（3）、所述退膜机构（4）、所述脱水烘干机构（5）和所述出板机构（6）分别通过独立设置的传动装置（7）连接，所述显影机构（2）、所述蚀刻机构（3）和所述退膜机构（4）分别连接有分段式排气装置（8）、过滤装置以及泵装置。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述显影机构（2）包括依次设置的显影室（20）和第一清洗室（21），所述显影室（20）内设置有储存显影液体的显影槽（200）和摇摆架喷淋装置（201）；所述第一清洗室（21）内设置有第一清洗槽（210）和复数个位于传动装置（7）上下方的清洗喷嘴。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述蚀刻机构（3）包括依次设置的蚀刻室（30）、补偿室（31）和第二清洗室（32），所述蚀刻室（30）与所述补偿室（31）通过液体管道连接，所述蚀刻室（30）设置有储存蚀刻液体的蚀刻槽（300）和摇摆架喷淋装置（201）；所述补偿室（31）设置有补偿装置（310），补偿装置（310）由复数根上喷管（3100）和复数根下喷管（3101）构成，上喷管（3100）和下喷管（3101）分别通过气阀（3102）与进水管（3103）连接，上喷管（3100）和下喷管（3101）分别设置有复数个补偿喷嘴，相邻的上喷管（3100）之间的喷嘴交错排布，复数根所述上喷管（3100）的喷嘴形成三角型排布，气阀（3102）与进水管（3103）之间连接有压力表（3104）；所述第二清洗室（32）设置有第二清洗槽（320）和复数个位于传动装置（7）上下方的清洗喷嘴。

4.根据权利要求2或3所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述摇摆架喷淋装置（201）由摇摆架（202）和压力控制装置（203）构成，摇摆架（202）通过上接软管（204）和下接软管（205）与压力控制装置（203）相连接，所述摇摆架（202）包括上喷架（2020）和下喷架（2021），所述上喷架（2020）和所述下喷架（2021）通过摇臂（2022）连接，上喷架（2020）的板面和下喷架（2021）的板面上分别设置有复数个出水口（2023），所述出水口（2023）是均匀分布的，出水口（2023）上设置有喷嘴，上喷架（2020）固定连接有拉臂（2024），拉臂（2024）设置有偏心块（2025），偏心块（2025）与马达连接轴（2026）连接，摇臂（2022）中间设置有固定销（2027）；所述压力控制装置（203）包括压力表（2030）和球阀（2031）。

5.根据权利要求1所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述退膜机构（4）包括依次设置的退膜室（40）和第三清洗室（41），所述退膜室（40）设置有储存退膜液体的退膜槽（400）和喷洒装置（401），所述喷洒装置（401）设置有喷管（4010）和喷嘴（4011），喷嘴（4011）由喷嘴座（4012）、喷头（4013）和喷嘴盖（4014）组成，喷头（4013）设置于喷嘴座（4012）内，喷嘴盖（4014）连接于喷嘴座（4012），喷嘴座（4012）通过前夹扣（4015）和后夹扣（4016）固定在喷管（4010）沿长度方向设置的出水孔（4017）上，前夹扣（4015）和后夹扣（4016）通过螺栓连接；所述第三清洗室（41）内设置有第三清洗槽（410）和复数个位于传动装置（7）上下方的清洗喷嘴。

6.根据权利要求1所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述脱水烘干机构（5）包括依次设置的冷风吹干装置（50）和热风烘干装置（51），所述热风烘干装置（51）设置有鼓风机（510）、热风分支器（511）和热风管（512），鼓风机（510）和热风分支器（511）位于传送装置（7）的下方，所述传送装置（7）的上下两侧分别设置有风刀装置（513）。