[发明专利]氧化硅玻璃坩埚的制造方法有效
| 申请号： | 201110445470.5 | 申请日： | 2011-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102531349A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 须藤俊明;铃木江梨子 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市维邦知识产权事务所 44269 | 代理人： | 王昌花 |
| 地址： | 日本秋田县*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 制造内表面的状态(坩埚内表面特性)等得到适当控制的氧化硅玻璃坩埚。一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法，在旋转的模具(10)内，通过多个碳电极(13)的电弧放电加热熔化由氧化硅粉末构成的氧化硅粉层(11)，制造氧化硅玻璃坩埚，该制造方法包括：预备工序，对于选自由上述氧化硅粉层(11)、上述熔化时发生的烟尘、以及因上述电弧放电而产生的电弧火焰组成的群的一种以上，预先求出上述加热熔化时的最佳温度；温度测量工序，对于已求出最佳温度的选自上述群的一种以上，测量在加热熔化时的实际温度；以及温度控制工序，对于已测量实际温度的选自上述群的一种以上，控制实际温度以成为最佳温度。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 玻璃 坩埚 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法，在旋转的模具内，通过多个碳电极进行的电弧放电加热熔化由氧化硅粉末构成的氧化硅粉层，从而制造氧化硅玻璃坩埚，该制造方法的特征在于包括：预备工序，对于选自由上述氧化硅粉层、上述熔化时发生的烟尘、以及因上述电弧放电而产生的电弧火焰组成的群的一种以上，预先求出上述加热熔化时的最佳温度；温度测量工序，对于已求出上述最佳温度的选自上述群的一种以上，测量在上述加热熔化时的实际温度；以及温度控制工序，对于已测量上述实际温度的选自上述群的一种以上，控制上述实际温度以成为上述最佳温度。
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