[发明专利]基板处理系统有效
| 申请号： | 201110369103.1 | 申请日： | 2011-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN102479927A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 曹生贤 | 申请（专利权）人： | 圆益IPS股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板处理系统，更详细地，涉及一种对基板进行蒸镀等的基板处理系统。本发明公开的基板处理系统包括：两个以上搬送模块；多个工序模块，在各个上述搬送模块上结合两个以上上述工序模块；一个以上连接模块，将多个上述搬送模块中相邻的两个搬送模块相互连接起来，并能够与上述搬送模块进行基板交换。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 系统 | ||
【主权项】：
一种基板处理系统，其特征在于，包括：两个以上搬送模块，多个工序模块，在各个所述搬送模块上结合两个以上所述工序模块，一个以上连接模块，将所述搬送模块中相邻的两个搬送模块相互连接起来，并能够与所述搬送模块进行基板交换；所述连接模块临时存储基板。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
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