[发明专利]基板处理系统

权利要求书

1.一种基板处理系统，其特征在于，

包括：

两个以上搬送模块，

多个工序模块，在各个所述搬送模块上结合两个以上所述工序模块，

一个以上连接模块，将所述搬送模块中相邻的两个搬送模块相互连接起来，并能够与所述搬送模块进行基板交换；

所述连接模块临时存储基板。

2.一种基板处理系统，其特征在于，

包括：

两个以上搬送模块，

多个工序模块，在各个所述搬送模块上结合两个以上所述工序模块，

一个以上连接模块，将所述搬送模块中相邻的两个搬送模块相互连接起来，并能够与所述搬送模块进行基板交换；

所述连接模块对基板进行加工。

3.根据权利要求2所述的基板处理系统，其特征在于，相邻的所述两个搬送模块通过两个以上所述连接模块相连接。

4.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述连接模块对基板进行加工。

5.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，相邻的所述两个搬送模块通过两个以上所述连接模块相连接。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，在所述连接模块中，基板以相对于地面垂直或倾斜的状态被输送。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，

多个所述搬送模块以及所述连接模块，以基板相对于地面垂直或倾斜的状态被输送；

所述工序模块中的至少一部分以基板相对于地面垂直或倾斜的状态进行基板处理。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，从外部接收基板的装载互锁模块和向外部传递加工后的基板的卸载互锁模块与一个搬送模块结合或分别与相互不同的搬送模块结合。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，所述搬送模块，其平行于地面的平面形状为多边形结构。

10.根据权利要求9所述的基板处理系统，其特征在于，上述搬送模块的各边中至少一个边上结合把基板相对于地面垂直或倾斜的状态而被输送的两个以上。

11.根据权利要求10所述的基板处理系统，其特征在于，所述搬送模块包括：

一对放置部，用于放置基板；

旋转驱动部，所述旋转驱动部旋转所述放置部，使得所述放置部分别与所述工序模块以及所述连接模块之间进行基板交换；

基板移动部，使所述放置部分别与所述工序模块以及所述连接模块之间进行基板交换。

12.根据权利要求1至5中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，

所述搬送模块依次配置成一列；

相邻的所述两个搬送模块通过两个所述连接模块相连接；

在所述连接模块中，以基板相对于地面垂直或倾斜的状态被输送；

从外部接收基板的装载互锁模块与第一个所述搬送模块结合，向外部传递加工后的基板的卸载互锁模块与最后一个所述搬送模块结合。

13.根据权利要求12所述的基板处理系统，其特征在于，以所述基板的输送方向为基准，所述工序模块以及所述连接模块相互配置对称。

14.根据权利要求1至5中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，

相邻的所述两个搬送模块通过两个所述连接模块相连接；

在所述连接模块中，以基板相对于地面垂直或倾斜的状态被输送；

从外部接收基板的装载互锁模块和向外部传递加工后的基板的卸载互锁模块与一个所述搬送模块结合；

所述基板经由各模块的输送路径形成封闭曲线。

15.根据权利要求1至5中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，

所述搬送模块以及所述连接模块，以基板相对于地面垂直或倾斜的状态被输送；

所述工序模块包括：一个以上垂直工序模块和一个以上水平工序模块，所述垂直工序模块在基板相对于地面垂直或倾斜的状态下进行基板处理，所述水平工序模块在基板相对于地面水平的状态下进行基板处理。

16.根据权利要求15所述的基板处理系统，其特征在于，使基板以相对于地面垂直或水平的状态旋转的旋转模块设置于所述搬送模块、所述搬送模块与所述水平工序模块之间以及所述水平工序模块中的任一种模块上。