[发明专利]基板上隔垫物制造方法有效
| 申请号： | 201110366968.2 | 申请日： | 2011-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN102681261A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 舒适;薛建设;赵吉生;李琳;周伟峰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1339 | 分类号： | G02F1/1339;G03F7/00;G03F7/38;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种隔垫物制造方法，包括：在基板上涂布一层光刻胶，放入烤箱烘烤，烤箱中设有冷却触点，冷却触点温度低于烘烤温度，冷却触点接触光刻胶，一段时间后冷却触点移走，光刻胶在与冷却触点接触的位置形成突起；将基板移出烤箱，对基板上的光刻胶进行无掩膜板的低曝光量曝光和显影，以去除突起以外的光刻胶，基板上保留的突起即为隔垫物。本发明提供一定的温度差在正性光刻胶表面，形成表面张力梯度，使光刻胶向形成隔垫物的区域流动，该区域膜厚增大，其他部位膜厚变小，再经低曝光量曝光、显影后得到隔垫物图形，无需使用掩膜板，降低成本；节省了量产中掩膜板对位时间，提高生产效率；避免了掩膜板对位不精确造成的不良，提高良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 基板上隔垫物 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种基板上隔垫物制造方法，其特征在于，包括以下过程：在基板上涂布一层光刻胶，放入烤箱烘烤，所述烤箱中设有冷却触点，所述冷却触点的温度低于烘烤温度，冷却触点接触光刻胶，一段时间后将冷却触点移走，继续进行烘烤，光刻胶在与冷却触点接触的位置形成突起；将基板移出烤箱，对基板上的光刻胶进行无掩膜板的低曝光量曝光和显影，以去除突起以外的光刻胶，基板上保留的突起即为隔垫物。
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