[发明专利]一种阴极均匀性修正挡板无效
| 申请号： | 201110360717.3 | 申请日： | 2011-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102409311A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 程立华;武瑞军;田富 | 申请（专利权）人： | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215200 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种阴极均匀性修正挡板，包括相平行设置的第一挡板本体和第二挡板本体，所述的第一挡板本体与所述的第二挡板本体之间形成溅射区域，所述的第一挡板本体与所述的第二挡板本体相对的侧面的两端分别具有凸棱，所述的溅射区域呈两端缩颈的空间。本发明通过在两挡板本体的相对面的两端分别加上凸棱，对端部镀膜进行部分阻挡，有效地解决了镀膜边缘与中部的均匀性差距的问题，并且改进的结构简单、易加工，并且不会降低原有的溅射效率，适合在磁控溅射镀膜领域推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 均匀 修正 挡板 | ||
【主权项】：
一种阴极均匀性修正挡板，其特征在于：包括相平行设置的第一挡板本体和第二挡板本体，所述的第一挡板本体与所述的第二挡板本体之间形成溅射区域，所述的第一挡板本体与所述的第二挡板本体相对的侧面的两端分别具有凸棱，所述的溅射区域呈两端缩颈的空间。
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