[发明专利]一种阴极均匀性修正挡板无效
| 申请号： | 201110360717.3 | 申请日： | 2011-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102409311A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 程立华;武瑞军;田富 | 申请（专利权）人： | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215200 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 均匀 修正 挡板 | ||
【权利要求书】：
1.一种阴极均匀性修正挡板，其特征在于：包括相平行设置的第一挡板本体和第二挡板本体，所述的第一挡板本体与所述的第二挡板本体之间形成溅射区域，所述的第一挡板本体与所述的第二挡板本体相对的侧面的两端分别具有凸棱，所述的溅射区域呈两端缩颈的空间。
2.根据权利要求1所述的一种阴极均匀性修正挡板，其特征在于：所述的凸棱由对应的所述的第一挡板本体或第二挡板本体相对延伸而形成，所述的凸棱的表面与其所在的所述的第一挡板本体或第二挡板本体的表面之间的二面角为钝角。
3.根据权利要求1所述的一种阴极均匀性修正挡板，其特征在于：所述的第一挡板本体与所述的第二挡板本体相对称分布。
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