[发明专利]一种提高特征峰附近光谱分辨率的拉曼光谱仪芯片

摘要

本发明公开了一种提高特征峰附近光谱分辨率的拉曼光谱仪芯片，它包括一基板、一第一级阵列波导光栅、一第二级N个阵列波导光栅、一光传导件、一光电探测器阵列和一输入光纤，所述第二级N个阵列波导光栅具有波导阵列输出。拉曼散射光经输入光纤进入第一级阵列波导光栅以分光为N个不同波长的输出光，N个输出光分别进入第二级的N个阵列波导光栅再次分光，使特定波长的光在波导阵列输出的特定波导输出，经光传导件传导再照射在光电探测器阵列的特定像元以转化成数字信号，所述特定波长、特定波导、特定像元一一对应。它具有如下优点：采用级联阵列波导光栅实现分光功能，价格低、体积小，重量轻，能够批量生产。

主权项

一种提高特征峰附近光谱分辨率的拉曼光谱仪芯片，其特征在于：它包括一基板(10)、一第一级阵列波导光栅(20)、一第二级N个阵列波导光栅(30)一光传导件(40)、一光电探测器阵列(50)和一输入光纤(60)，所述第一级阵列波导光栅(20)、第二级N个阵列波导光栅(30)、光传导件(40)和光电探测器阵列(50)都设在基板(10)上，所述第二级N个阵列波导光栅(30)具有波导阵列输出(70)；拉曼散射光经输入光纤(60)进入第一级阵列波导光栅(20)以分光为N个不同波长的输出光，N个输出光分别进入第二级的N个阵列波导光栅(30)以再次分光，使特定波长的光在波导阵列输出(70)的特定波导输出，经光传导件(40)传导再照射在光电探测器阵列(50)的特定像元以转化成数字信号，所述特定波长、特定波导、特定像元一一对应。