[发明专利]一种提高特征峰附近光谱分辨率的拉曼光谱仪芯片

权利要求书

1.一种提高特征峰附近光谱分辨率的拉曼光谱仪芯片，其特征在于：

它包括一基板(10)、一第一级阵列波导光栅(20)、一第二级N个阵列波导光栅(30)一光传导件(40)、一光电探测器阵列(50)和一输入光纤(60)，所述第一级阵列波导光栅(20)、第二级N个阵列波导光栅(30)、光传导件(40)和光电探测器阵列(50)都设在基板(10)上，所述第二级N个阵列波导光栅(30)具有波导阵列输出(70)；

拉曼散射光经输入光纤(60)进入第一级阵列波导光栅(20)以分光为N个不同波长的输出光，N个输出光分别进入第二级的N个阵列波导光栅(30)以再次分光，使特定波长的光在波导阵列输出(70)的特定波导输出，经光传导件(40)传导再照射在光电探测器阵列(50)的特定像元以转化成数字信号，所述特定波长、特定波导、特定像元一一对应。

2.根据权利要求1所述的一种提高特征峰附近光谱分辨率的拉曼光谱仪芯片，其特征在于：所述基板(10)选用硅片。

3.根据权利要求1所述的一种提高特征峰附近光谱分辨率的拉曼光谱仪芯片，其特征在于：所述光传导件(40)采用斜面镜。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种提高特征峰附近光谱分辨率的拉曼光谱仪芯片，其特征在于：它还包括一楔形波导(80)，所述楔形波导(80)设在基板(10)上，且，耦合在输入光纤(60)和第一级阵列波导光栅(20)间，从而降低光的耦合和传输损耗。

5.根据权利要求4所述的一种提高特征峰附近光谱分辨率的拉曼光谱仪芯片，其特征在于：所述基板(10)和光电探测器阵列(50)通过光学树脂对准粘合在一起。