[发明专利]基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置无效
| 申请号： | 201110340266.7 | 申请日： | 2011-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN102468204A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 古田诚;仲子透;山崎哲也 | 申请（专利权）人： | 株式会社安川电机 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683;B65G47/91 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置，所述基板搬送用手的吸附部(3)包括吸盘(5)和弹性部件(8)，所述吸盘(5)与基板(2)接触并吸附基板(2)，所述弹性部件(8)被设置在叉(1)与吸盘(5)之间，并具有吸附流路(7)，所述吸附流路(7)使吸附用流体(6)在叉(1)与吸盘(5)之间连通，所述基板搬送用手的吸附部(3)构成为能够通过使弹性部件(8)的一部分变形来改变吸盘(5)相对于叉(1)的突起量(9)。 | ||
| 搜索关键词： | 基板搬送 用手 具有 装置 | ||
【主权项】：
一种基板搬送用手，其包括叉和吸附部，所述吸附部设置于所述叉并对基板进行吸附，所述基板搬送用手通过所述吸附部来吸附保持所述基板并进行搬送，其中，所述吸附部包括：吸盘，所述吸盘与所述基板接触并吸附所述基板；和弹性部件，所述弹性部件设置在所述叉与所述吸盘之间，并且所述弹性部件具有吸附流路，所述吸附流路使吸附用流体在所述叉与所述吸盘之间连通，并且所述吸附部构成为能够通过使所述弹性部件的一部分变形来任意地改变所述吸盘相对于所述叉的突起量。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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