[发明专利]基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置

权利要求书

1.一种基板搬送用手，其包括叉和吸附部，所述吸附部设置于所述叉并对基板进行吸附，所述基板搬送用手通过所述吸附部来吸附保持所述基板并进行搬送，其中，

所述吸附部包括：

吸盘，所述吸盘与所述基板接触并吸附所述基板；和

弹性部件，所述弹性部件设置在所述叉与所述吸盘之间，并且所述弹性部件具有吸附流路，所述吸附流路使吸附用流体在所述叉与所述吸盘之间连通，

并且所述吸附部构成为能够通过使所述弹性部件的一部分变形来任意地改变所述吸盘相对于所述叉的突起量。

2.根据权利要求1所述的基板搬送用手，其中，

所述弹性部件包括：

与所述吸附流路连通的吸附流路空间；以及

与所述吸附流路相独立的突起量调节空间，

所述叉包括供应所述吸附用流体的第一流路和第二流路，

所述第一流路和所述第二流路构成为能够各自分别进行抽吸，

所述第一流路与所述第二流路中的任一方与所述吸附流路空间连通，另一方与所述突起量调节空间连通，

通过向与所述突起量调节空间连通的所述第一流路或所述第二流路供应所述吸附用流体，来使所述吸附流路空间和所述突起量调节空间减小，从而改变所述突起量。

3.根据权利要求1所述的基板搬送用手，其中，

所述弹性部件包括：

吸盘支承部，所述吸盘支承部对所述吸盘进行支承，并且形成有所述吸附流路；以及

第一环状腿部，所述第一环状腿部形成于所述吸盘支承部，并在所述吸盘支承部与所述叉之间形成所述吸附流路空间，

通过所述第一环状腿部发生变形，所述突起量被改变。

4.根据权利要求3所述的基板搬送用手，其中，

所述弹性部件在所述吸盘支承部还具有第二环状腿部，所述第二环状腿部在所述吸盘支承部与所述叉之间形成所述突起量调节空间，

通过抽吸所述突起量调节空间的内部气体，所述第一环状腿部和所述第二环状腿部发生变形，所述吸附流路空间减小，从而所述突起量被改变。

5.根据权利要求4所述的基板搬送用手，其中，

所述第二环状腿部与所述第一环状腿部同心，并且形成于所述第一环状腿部的外侧，由所述第一环状腿部与所述第二环状腿部包围的空间构成为所述突起量调节空间。

6.根据权利要求4所述的基板搬送用手，其中，

所述第二环状腿部与所述第一环状腿部同心，并且以双层的形式形成于所述第一环状腿部的外侧。

7.根据权利要求4所述的基板搬送用手，其中，

所述吸盘支承部构成为被分割成：

第一吸盘支承部，所述第一吸盘支承部包括所述第一环状腿部；和

第二吸盘支承部，所述第二吸盘支承部包括所述第二环状腿部。

8.根据权利要求7所述的基板搬送用手，其中，

在所述第一吸盘支承部的周围形成有多个所述第二吸盘支承部。

9.根据权利要求4所述的基板搬送用手，其中，

在所述吸盘支承部具有与所述突起量调节空间连通的预备吸附流路，使得所述突起量调节空间与所述吸附流路空间能够相互交换使用。

10.根据权利要求4至8中的任一项所述的基板搬送用手，其中，

所述弹性部件在所述吸盘支承部与所述吸盘之间还包括：

第一辅助环状腿部，所述第一辅助环状腿部形成与所述吸附流路空间连通的吸附流路辅助空间；以及

第二辅助环状腿部，所述第二辅助环状腿部形成与所述突起量调节空间连通的突起量调节辅助空间。

11.一种基板搬送装置，其包括：

权利要求1所述的基板搬送用手；

使所述基板搬送用手运动的动作机构；以及

事先对使所述基板搬送用手运动的位置进行存储的控制器。

12.一种基板搬送方法，所述基板搬送方法从以多层方式收纳基板的盒中搬出所述基板，所述基板搬送方法利用基板搬送用手来吸附保持并搬出所述盒内的所述基板，

所述基板搬送用手包括叉和吸附部，所述吸附部设置于所述叉并对所述基板进行吸附，

所述吸附部包括：

吸盘，所述吸盘与所述基板接触并吸附所述基板；以及

弹性部件，所述弹性部件设置在所述叉与所述吸盘之间，并且所述弹性部件具有吸附流路，所述吸附流路使吸附用流体在所述叉与所述吸盘之间连通，

并且所述吸附部构成为能够通过使所述弹性部件的一部分变形来任意地改变所述吸盘相对于所述叉的突起量，

在所述基板搬送方法中，

通过对所述突起量调节空间进行抽吸来使所述弹性部件变形，由此减小所述吸盘相对于所述叉的突起量，

在减小了所述突起量的状态下，使所述叉插入到所述盒内的想要搬出的所述基板和与所述想要搬出的基板相邻的基板之间，

在完成所述插入后，停止对所述突起量调节空间的抽吸，

使所述叉靠近所述想要搬出的基板，以使所述吸盘与所述想要搬出的基板接触，

向所述吸附流路供应所述吸附用流体，从而使所述想要搬出的基板吸附于所述吸盘，

将所述叉从所述盒抽出。